[發明專利]一種用于太陽能電池的發射極制作工藝

有效

• 申請號: 201210343324.6
• 申請日: 2012-09-17
• 公開（公告）號: CN102881766A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 李質磊;袁澤銳;盛雯婷;林洪峰;張鳳鳴
• 申請（專利權）人: 天威新能源控股有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 廖曾

1.?一種用于太陽能電池的發射極制作工藝，其特征在于：包括如下步驟：

步驟A：采用擴散工藝在基體硅片（1）表面制作PN結形成表層雜質分布層（2）；

步驟B：對步驟A中的表層雜質分布層（2）進行氧化處理，在表層雜質分布層（2）表面快速生長一層均勻分布的氧化層（3）；

步驟C：將步驟B中的氧化層（3）去除。

2.?根據權利要求1所述的一種用于太陽能電池的發射極制作工藝，其特征在于：所述擴散工藝為：選取POCL₃液態源進行擴散。

3.?根據權利要求2所述的一種用于太陽能電池的發射極制作工藝，其特征在于：所述POCL₃液態源擴散的方式是：利用高純氮氣通入到液態POCL₃底部鼓泡，使得鼓泡攜帶POCL₃通入到高溫爐管內部與氧氣和硅片進行反應生成P原子擴散進入硅片表面形成N型層。

4.?根據權利要求1所述的一種用于太陽能電池的發射極制作工藝，其特征在于：所述氧化處理的方法為高溫濕氧氧化。

5.?根據權利要求4所述的一種用于太陽能電池的發射極制作工藝，其特征在于：高溫濕氧氧化的過程為：將步驟A處理后的基體硅片（1）放在密閉的高溫爐中，然后通入高溫水蒸氣，通過水蒸氣與硅片表面擴散層之間的反應來快速生長氧化層。

6.?根據權利要求1所述的一種用于太陽能電池的發射極制作工藝，其特征在于：步驟C中的氧化層（3）去除方法為：將步驟B之后的基體硅片（1）放在氫氟酸溶液中，待氫氟酸溶液與氧化層（3）反應后取出。

7.?根據權利要求1-6中任意一項所述的一種用于太陽能電池的發射極制作工藝，其特征在于：步驟A后的基體硅片（1）方阻比步驟B后的基體硅片（1）方阻低5ohm-30ohm。

8.?根據權利要求1-6中任意一項所述的一種用于太陽能電池的發射極制作工藝，其特征在于：步驟B后的基體硅片（1）方阻在60ohm-120ohm范圍內。