[發明專利]一種用于單晶硅制絨液的添加劑

有效

• 申請號: 201210328228.4
• 申請日: 2012-09-07
• 公開（公告）號: CN102787361A
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發明（設計）人: 石晶;吳小鋒;李杰;劉保鋒;趙明;閆云;王曉利
• 申請（專利權）人: 中國船舶重工集團公司第七一八研究所
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10;C23F1/32
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 楊志兵;付雷杰

1.一種用于單晶硅制絨液的添加劑，其特征在于：以所述添加劑總體質量為100%計，其中各組分及其質量百分數如下：

果糖????????????????????????0.1%～10%，

硅酸鈉??????????????????????1%～10%，

有機酸鹽????????????????????0.1%～10%，

表面活性劑??????????????????0.1%～5%，

其余為達到去離子水或去離子水純度以上的水；

其中，所述有機酸鹽為乙酸鹽、草酸鹽、異煙酸鹽、酒石酸鹽和乳酸鹽中的一種或一種以上；

表面活性劑為脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸鹽、壬基酚聚氧乙烯醚和含氟非離子表面活性劑中的一種或一種以上。

2.一種如權利要求1所述的用于單晶硅制絨液的添加劑的制備方法，其特征在于：步驟如下：

常溫下，將果糖、硅酸鈉、有機酸鹽和表面活性劑按比例加入燒杯中，加入水攪拌至完全溶解，即得到一種用于單晶硅制絨液的添加劑。

3.一種如權利要求1所述的用于單晶硅制絨液的添加劑的使用方法，其特征在于：將所述的添加劑加入堿性制絨液中，將清洗過的硅片浸入含有添加劑的堿性制絨液中，于65～90℃恒溫12～20分鐘，即完成制絨；其中添加劑占堿性制絨液質量的0.3%～2%。