[發(fā)明專利]N型太陽能電池及其制造工藝

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210309888.8
• 申請日: 2012-08-28
• 公開（公告）號: CN102800757A
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王英超;劉大偉;李高非;胡志巖;熊景峰
• 申請（專利權(quán)）人: 英利集團有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

1.一種N型太陽能電池的制造工藝，其特征在于，包括以下步驟：

1）硅片清洗制絨；

2）在硅片的背場面需要印刷柵線的位置處印刷磷漿，所述背場面為摻雜磷雜質(zhì)的面；

3）磷、硼擴散；

4）化學清洗表面并激光刻邊，使上下兩面絕緣；

5）雙面鍍膜；

6）印刷正背面電極；

7）燒結(jié)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的N型太陽能電池的制造工藝，其特征在于，所述步驟1）與所述步驟2）之間還包括步驟：

在硅片的背場面需要印刷柵線的位置處進行激光刻槽；

且所述步驟2）具體為在所述槽內(nèi)印刷磷漿。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的N型太陽能電池的制造工藝，其特征在于，所述磷漿的印刷量為10g-30g。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的N型太陽能電池的制造工藝，其特征在于，所述步驟3）具體為通過POCl₃液態(tài)源擴散的方法進行磷擴散，通過BBr₃液態(tài)源擴散的方法進行硼擴散。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的N型太陽能電池的制造工藝，其特征在于，所述步驟5）具體為平板PECVD雙面鍍膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的N型太陽能電池的制造工藝，其特征在于，所述步驟7）通過共燒工藝形成金屬接觸完成燒結(jié)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的N型太陽能電池的制造工藝，其特征在于，所述步驟7）之后還包括步驟：

對電池片進行檢驗和分級。

8.一種N型太陽能電池，其特征在于，其由如權(quán)利要求1-7任意一項所述的N型太陽能電池的制造工藝制成。