[發明專利]用于太陽能電池的硒化方法及其硒化裝置

無效

• 申請號: 201210302949.8
• 申請日: 2012-08-24
• 公開（公告）號: CN103628043A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 黃導陽;謝昆山;張延任;林忠明
• 申請（專利權）人: 北儒精密股份有限公司
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448;C23C16/455;H01L31/18
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍

1.一種用于太陽能電池的硒化方法，包含：

步驟A：將一個表面形成有一個前驅物層的基板單元放入一個加熱腔體內；

步驟B：將該加熱腔體抽真空；

其特征在于，該硒化方法還包含：

步驟C：提升該加熱腔體內的氣流循環性，并將硒化反應氣體通入該加熱腔體內以增加該加熱腔體內的氣壓值，同時增加該加熱腔體內的溫度；

步驟D：持續將硒化反應氣體通入該加熱腔體內，使該加熱腔體內的氣壓值增加至2~6atm之后進行退火，使硒化反應氣體與該前驅物層反應形成一個光吸收層。

2.根據權利要求1所述的用于太陽能電池的硒化方法，其特征在于：在步驟D中，持續將硒化反應氣體通入該加熱腔體內，使該加熱腔體內的氣壓值增加并維持在5atm。

3.根據權利要求2所述的用于太陽能電池的硒化方法，其特征在于：該前驅物層的材料為銅銦鎵或銅銦，而硒化反應氣體為硒化氫或硒化氫與硫化氫的混合。

4.根據權利要求1至3中任一權利要求所述的用于太陽能電池的硒化方法，其特征在于：在步驟D中，退火溫度為500~600℃，并在持溫40~60分鐘之后停止對該加熱腔體加熱。

5.一種用于太陽能電池的硒化裝置，通過硒化反應氣體使所述太陽能電池的半成品發生硒化反應，而該硒化裝置包含一個加熱腔體，以及一個安裝在該加熱腔體上的真空機構，該加熱腔體包括一個供所述半成品放置的反應空間，以及一個圍繞并對該反應空間加熱的加熱部，而該真空機構對該反應空間抽氣；其特征在于，該硒化裝置還包含一個安裝在該加熱腔體上并將硒化反應氣體送入該反應空間的加壓機構，以及一個安裝在該反應空間內并使該反應空間內的硒化反應氣體循環流動的氣流循環機構。

6.根據權利要求5所述的用于太陽能電池的硒化裝置，其特征在于：該氣流循環機構包括一個可轉動地安裝于該反應空間內的風扇，以及一個位于該風扇與所述半成品之間的導流座，該導流座具有一個供硒化反應氣體流動于所述半成品與該風扇之間的導流通道。

7.根據權利要求6所述的用于太陽能電池的硒化裝置，其特征在于：該導流座的導流通道具有一個朝向所述半成品的大徑開口，以及一個朝向該風扇且口徑小于該大徑開口的小徑開口。

8.根據權利要求7所述的用于太陽能電池的硒化裝置，其特征在于：該硒化裝置還包含一個安裝于該加熱腔體的反應空間內的固定座單元，該固定座單元包括一個供所述半成品放置且供該導流座安裝的固定板。

9.根據權利要求6至8中任一權利要求所述的用于太陽能電池的硒化裝置，其特征在于：該加熱腔體還包括分別設置在該加熱部的相反兩側且與該加熱部共同圈圍該反應空間的一個安裝部與一個開口部，該風扇、該真空機構及該加壓機構安裝于該安裝部，所述半成品通過該開口部進出該反應空間。