[發明專利]用于對準電子電路板的對準裝置及方法

有效

• 申請號: 201210299577.8
• 申請日: 2008-03-05
• 公開（公告）號: CN102842529A
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發明（設計）人: 安德烈亞·貝茨尼
• 申請（專利權）人: 應用材料意大利有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;鐘強

1.一種用于對準電子電路板的對準裝置，包括：

傳送裝置，用于沿傳送軸(Y)于活動對準塔上方將該電路板至少從入口位置傳送至對準位置，該對準位置界定對準平面(P)，該活動對準塔包括：

第一移動構件，用于在第一方向上垂直移動該活動對準塔的一部分，以便相對于該電路板移動該活動對準塔的該部分，該第一方向的指向為第一軸(Z)，該第一軸(Z)基本上與該對準平面(P)垂直；

第二移動構件，用于圍繞該第一軸(Z)旋轉該第一移動構件；以及

第三移動構件，用于在第二方向上移動該第一移動構件，該第二方向的指向為第二軸(X)，該第二軸(X)基本上橫切于該第一軸(Z)，且基本上與該傳送軸(Y)垂直且共平面，

其中該活動對準塔包括連接構件，該連接構件用于將該第二移動構件和第三移動構件的移動連接和傳送至該第一移動構件，且該第一移動構件具有操作器，該操作器配置為操作該電路板。

2.如權利要求1所述的對準裝置，其中該活動對準塔被布置在該對準平面(P)之下。

3.如權利要求1所述的對準裝置，其中該活動對準塔具有第四移動構件，該第四移動構件用于在第三方向上相對于該活動對準塔移動該第一移動構件，該第三方向的指向是該傳送軸(Y)。

4.如權利要求1所述的對準裝置，其中該操作器包括夾持元件。

5.如權利要求4所述的對準裝置，其中該夾持元件是吸盤。

6.如權利要求3所述的對準裝置，其中該活動對準塔包括移動單元。

7.如權利要求6所述的對準裝置，其中該移動單元借助于連接構件與該操作器相關聯。

8.如權利要求6所述的對準裝置，其中該移動單元包括旋轉零件，該旋轉零件由該第二移動構件控制，配置為圍繞該第一軸(Z)旋轉。

9.如權利要求6所述的對準裝置，其中該移動單元包括第一滑動構件，該第一滑動構件由該第三移動構件控制，配置為沿著該第二方向滑動。

10.如權利要求6所述的對準裝置，其中該移動單元包括第二滑動構件，該第二滑動構件由該第四移動構件控制，配置為沿著該第三方向滑動。

11.如權利要求1所述的對準裝置，還包括影像獲取構件，該影像獲取構件被布置為與該對準位置相對應，以偵測該電路板的位置。

12.如權利要求11所述的對準裝置，還包括配置為對該電路板進行后向照明的照明構件。

13.如權利要求12所述的對準裝置，其中該照明構件包括發光二極管。