[發(fā)明專利]具有橢圓曲面構(gòu)造的光學(xué)量測(cè)輔助器及光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210298835.0
• 申請(qǐng)日: 2012-08-21
• 公開（公告）號(hào): CN103185664A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫嘉鴻;林啟湟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 財(cái)團(tuán)法人金屬工業(yè)研究發(fā)展中心
• 主分類號(hào): G01M11/02
• 分類號(hào): G01M11/02
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 任默聞

1.一種具有橢圓曲面構(gòu)造的光學(xué)量測(cè)輔助器，其特征在于，所述的具有橢圓曲面構(gòu)造的光學(xué)量測(cè)輔助器系包含：

一旋轉(zhuǎn)反射構(gòu)件，其包含一內(nèi)反射橢圓曲面、一第一焦點(diǎn)與一第二焦點(diǎn)，所述內(nèi)反射橢圓曲面為一橢圓球內(nèi)曲面中的一部分區(qū)塊且具有一基準(zhǔn)中心軸線，第一焦點(diǎn)與第二焦點(diǎn)位于所述的基準(zhǔn)中心軸線上，內(nèi)反射橢圓曲面的兩端分別對(duì)應(yīng)于基準(zhǔn)中心軸線的第一焦點(diǎn)與第二焦點(diǎn)且與基準(zhǔn)中心軸線具有一預(yù)定的距離，其中從所述的第一焦點(diǎn)與第二焦點(diǎn)的其中一個(gè)所發(fā)出來(lái)的光在所述的內(nèi)反射橢圓曲面反射后將會(huì)聚集在所述的第一焦點(diǎn)與第二焦點(diǎn)的其中另一個(gè)；以及

一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其包含一旋轉(zhuǎn)作動(dòng)端，旋轉(zhuǎn)作動(dòng)端連接旋轉(zhuǎn)反射構(gòu)件，藉由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)反射構(gòu)件以基準(zhǔn)中心軸線為中心旋轉(zhuǎn)，使旋轉(zhuǎn)的內(nèi)反射橢圓曲面形成一虛擬橢圓球形內(nèi)反射曲面。

2.如權(quán)利要求1所述的具有橢圓曲面構(gòu)造的光學(xué)量測(cè)輔助器，其特征在于，所述的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有一伺服馬達(dá)與一連接構(gòu)件，伺服馬達(dá)以其心軸組接連接構(gòu)件，旋轉(zhuǎn)作動(dòng)端位于連接構(gòu)件上且連接旋轉(zhuǎn)反射構(gòu)件鄰近第一焦點(diǎn)的一端。

3.一種具有橢圓曲面構(gòu)造的光學(xué)量測(cè)輔助器，其特征在于，所述的具有橢圓曲面構(gòu)造的光學(xué)量測(cè)輔助器其包含：

一第一反射腔體，第一反射腔體包含一橢圓球形內(nèi)反射曲面、一第一焦點(diǎn)與一第二焦點(diǎn)，橢圓球形內(nèi)反射曲面位于第一反射腔體內(nèi)部，第一反射腔體的橢圓球形內(nèi)反射曲面具有一第一中心軸線通過(guò)其中心，第一焦點(diǎn)與第二焦點(diǎn)位于第一中心軸線上，第一反射腔體的一端對(duì)應(yīng)于第一焦點(diǎn)且與第一中心軸線具有一距離而形成一第一入光口，第一反射腔體的另一端對(duì)應(yīng)于第二焦點(diǎn)且與第一中心軸線具有一距離而形成一第一出光口，其中從所述的第一焦點(diǎn)與第二焦點(diǎn)的其中一個(gè)所發(fā)出來(lái)的光在所述的橢圓球形內(nèi)反射曲面反射后將會(huì)聚集在所述的第一焦點(diǎn)與第二焦點(diǎn)的其中另一個(gè)。

4.如權(quán)利要求3所述的具有橢圓曲面構(gòu)造的光學(xué)量測(cè)輔助器，其特征在于，所述的光學(xué)量測(cè)輔助器尚包含：

一串接于第一反射腔體一端的第二反射腔體，第二反射腔體包含一橢圓球形內(nèi)反射曲面、一第三焦點(diǎn)與一第四焦點(diǎn)，橢圓球形內(nèi)反射曲面位于第二反射腔體內(nèi)部，第二反射腔體的橢圓球形內(nèi)反射曲面具有一第二中心軸線通過(guò)其中心，第三焦點(diǎn)與第四焦點(diǎn)位于第二中心軸線上，第二反射腔體的一端對(duì)應(yīng)于第三焦點(diǎn)且與第二中心軸線具有一距離而形成一第二入光口，第二反射腔體的另一端對(duì)應(yīng)于第四焦點(diǎn)且與第二中心軸線具有一距離而形成一第二出光口，第二反射腔體的第二入光口銜接第一反射腔體的第一出光口，第二反射腔體的第三焦點(diǎn)與第一反射腔體的第二焦點(diǎn)重合，第一中心軸線與第二中心軸線呈一直線，其中從所述的第三焦點(diǎn)與第四焦點(diǎn)的其中一個(gè)所發(fā)出來(lái)的光在所述的橢圓球形內(nèi)反射曲面反射后將會(huì)聚集在所述的第三焦點(diǎn)與第四焦點(diǎn)的其中另一個(gè)。

5.如權(quán)利要求4所述的具有橢圓曲面構(gòu)造的光學(xué)量測(cè)輔助器，其特征在于，所述的第一反射腔體與第二反射腔體不同型式的橢圓腔體。

6.如權(quán)利要求5所述的具有橢圓曲面構(gòu)造的光學(xué)量測(cè)輔助器，其特征在于，所述的第一反射腔體為短胖型的腔體，所述的第二反射腔體為狹長(zhǎng)型的腔體。

7.一種光學(xué)量測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述的光學(xué)量測(cè)系統(tǒng)包含：

一如權(quán)利要求1所述的光學(xué)量測(cè)輔助器；

一檢測(cè)器，設(shè)置于所述的第一焦點(diǎn)與第二焦點(diǎn)的其中一個(gè)；

一待測(cè)物，設(shè)于所述的第一焦點(diǎn)與第二焦點(diǎn)的其中另一個(gè)；

一激光光源，用以相對(duì)于所述的基準(zhǔn)中心軸線呈一傾斜角度發(fā)出激光光通過(guò)所述的待測(cè)物后，投射于旋轉(zhuǎn)的所述的內(nèi)反射橢圓曲面上，經(jīng)反射再投射至所述的檢測(cè)器；以及

一分析裝置，用以量測(cè)分析所述的檢測(cè)器所檢測(cè)到的數(shù)據(jù)。

8.一種光學(xué)量測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述的光學(xué)量測(cè)系統(tǒng)包含：

一如權(quán)利要求3所述的光學(xué)量測(cè)輔助器；

一檢測(cè)器，設(shè)置于所述的第一焦點(diǎn)與第二焦點(diǎn)的其中一個(gè)；

一待測(cè)物，設(shè)于所述的第一焦點(diǎn)與第二焦點(diǎn)的其中另一個(gè)；

一激光光源，用以相對(duì)于所述的基準(zhǔn)中心軸線呈一傾斜角度發(fā)出激光光通過(guò)所述的待測(cè)物后，投射于所述的橢圓球形內(nèi)反射曲面上，經(jīng)反射再投射至所述的檢測(cè)器；以及

一分析裝置，用以量測(cè)分析所述的檢測(cè)器所檢測(cè)到的數(shù)據(jù)。

9.一種光學(xué)量測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述的光學(xué)量測(cè)系統(tǒng)包含：

一如權(quán)利要求4所述的光學(xué)量測(cè)輔助器；

一檢測(cè)器，設(shè)置于所述的第一焦點(diǎn)；

一待測(cè)物，設(shè)于所述的第四焦點(diǎn)；

一激光光源，用以通過(guò)位于所述的第一焦點(diǎn)的所述的待測(cè)物，再投射于所述的第一反射腔體的橢圓球形內(nèi)反射曲面上，經(jīng)所述的第一反射腔體的橢圓球形內(nèi)反射曲面反射，通過(guò)重合的所述的第一反射腔體的第二焦點(diǎn)與所述的第二反射腔體的第三焦點(diǎn)投射至所述的第二反射腔體的橢圓球形內(nèi)反射曲面，經(jīng)反射后投射位于所述的第二反射腔體的第四焦點(diǎn)的所述的檢測(cè)器；以及

一分析裝置，用以量測(cè)分析所述的檢測(cè)器所檢測(cè)到的數(shù)據(jù)。