[發明專利]一種實時監控裝置及方法

在審

• 申請號: 201210297518.7
• 申請日: 2012-08-20
• 公開（公告）號: CN103632993A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 林偉旺
• 申請（專利權）人: 北大方正集團有限公司;深圳方正微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01J37/317
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種實時監控裝置，其特征在于，包括：

信號獲得單元，能與一離子注入設備的束流調節控制器連接，在所述離子注入設備正在對一集成電路進行離子注入的過程中，用于從所述束流調節控制器獲得第一束流信號、開始注入信號及注入完成信號；

處理單元，與所述信號獲得單元連接，用于對所述第一束流信號，開始注入信號及注入完成信號進行處理，獲得用于表征注入所述集成電路的劑量值是否符合一預設條件的參數值。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述處理單元具體包括：

束流信號獲得單元，連接在所述束流調節控制器與所述處理單元間，用于從所述束流調節控制器獲得所述第一束流信號；

注入信號獲得單元，連接所述束流調節控制器與所述處理單元間，用于從所述束流調節控制器獲得開始注入信號及注入完成信號。

3.如權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述束流信號獲得單元具體包括：

模擬信號隔離電路，包括第一端和第二端，其中，所述第一端與所述束流調節控制器連接，用于從所述束流調節控制器接收格式為模擬格式的第二束流信號；

模數轉換電路，包括第三端和第四端，其中，所述第三端與所述第二端連接，所述第四端與所述處理單元連接，用于將所述第二束流信號轉換為格式為數字格式的第一束流信號。

4.如權利要求1-3中任一權利要求所述的裝置，其特征在于，所述處理單元具體包括：

輸入輸出單元，與所述信號獲得單元連接，用于從所述信號獲得單元獲得所述第一束流信號，所述開始注入信號及所述注入完成信號；

邏輯運算單元，與所述輸入輸出單元連接，用于對所述第一束流信號，所述開始注入信號及所述注入完成信號進行處理，獲得用于表征注入所述集成電路的劑量值是否符合一預設條件的參數值。

5.如權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述邏輯運算單元，具體用于：

基于公式獲得所述集成電路的離子的實際注入量，其中，所述S為注入面積，是一個常值；所述C為注入離子的電荷數，在注入離子為單電荷時，所述C值為1，在注入離子為雙電荷時，所述C值為2；

基于所述集成電路的設定注入量和所述實際注入量，獲得用于表征注入所述集成電路的劑量值是否符合一預設條件的參數值。

6.一種實時監控的方法，其特征在于，包括：

在一離子注入設備正在對一集成電路進行離子注入的過程中，用于從所述離子注入設備的束流調節控制器獲得第一束流信號，開始注入信號及注入完成信號；

對所述第一束流信號，開始注入信號及注入完成信號進行處理，獲得用于表征注入所述集成電路的劑量值是否符合一預設條件的參數值。

7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，所述在一離子注入設備正在對一集成電路進行離子注入的過程中，用于從所述離子注入設備的束流調節控制器獲得第一束流信號，開始注入信號及注入完成信號，具體為：

接收所述束流調節控制器生成的第一束流信號；

接收所述束流調節控制器生成的開始注入信號及注入完成信號。

8.如權利要求7所述的方法，其特征在于，所述接收所述束流調節控制器生成的所述第一束流信號，具體為：

接收所述束流調節控制器生成的格式為模擬格式的第二束流信號；

將所述第二束流信號轉換為格式為數字格式的第一束流信號。

9.如權利要求6所述的方法，其特征在于，所述對所述第一束流信號，開始注入信號及注入完成信號進行處理，獲得用于表征注入所述集成電路的劑量值是否符合一預設條件的參數值，具體為：

基于公式獲得所述集成電路的離子的實際注入量，其中，所述S為注入面積，是一個常值；所述C為注入離子的電荷數，在注入離子為單電荷時，所述C值為1，在注入離子為雙電荷時，所述C值為2；

基于所述集成電路的設定注入量和所述實際注入量，獲得用于表征注入所述集成電路的劑量值是否符合一預設條件的參數值。

10.如權利要求9所述的方法，其特征在于，在所述基于所述集成電路的設定注入量和所述實際注入量，獲得用于表征注入所述集成電路的劑量值是否符合一預設條件的參數值之后，所述方法還包括：

在所述參數值表明注入所述集成電路的劑量值不符合所述預設條件時，生成一第一控制指令。