[發明專利]慣性感測裝置

無效

• 申請號: 201210292954.5
• 申請日: 2012-08-15
• 公開（公告）號: CN102854998A
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 林烔彣;翁煥翔;吳嘉昱
• 申請（專利權）人: 矽創電子股份有限公司
• 主分類號: G06F3/0346
• 分類號: G06F3/0346
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種慣性感測裝置，其特征在于，其包含：

一基板；

一第一慣性感測單元，連接于該基板上，并具有一容置空間；以及

一第二慣性感測單元，連接于該基板上，并設置于該第一慣性感測單元的該容置空間內；

其中，該第一慣性感測單元與該第二慣性感測單元除分別連接于該基板之外，該第一慣性感測單元與該第二慣性感測單元均各自獨立互不相連，且分別獨立感測該慣性感測裝置的至少一慣性運動。

2.如權利要求1所述的慣性感測裝置，其特征在于，其中該第一慣性感測單元與該第二慣性感測單元為一加速度感測單元，該慣性運動包含該慣性感測裝置的一第一軸方向的加速度與一第二軸方向的加速度，該第一慣性感測單元感測該第一軸方向的加速度，該第二慣性感測單元感測該第二軸方向的加速度。

3.如權利要求2所述的慣性感測裝置，其特征在于，其中該第一慣性感測單元感測該第一軸方向的加速度為一Z軸方向的加速度，而該第二慣性感測單元感測該第二軸方向的加速度為一X軸方向的加速度或一Y軸方向的加速度。

4.如權利要求2所述的慣性感測裝置，其特征在于，其中該第一慣性感測單元用以感測該第一軸方向的加速度為一X軸方向的加速度，而該第二慣性感測單元感測該第二軸方向的加速度為一Y軸方向的加速度。

5.如權利要求2所述的慣性感測裝置，其特征在于，其中該加速度感測單元包含：

一質量塊，具有至少一組彈性組件與該容置空間，該組彈性組件支撐該質量塊，該容置空間位于該組彈性組件的一側，該質量塊位于該基板的上方；以及

至少一感測電容板，設置于該基板，并感測該質量塊的位移所產生的電容變化，以得知該慣性測裝置的該慣性運動。

6.如權利要求1所述的慣性感測裝置，其特征在于，其更包含：

一第三慣性感測單元，設置于該第一慣性感測單元的該容置空間內，并獨立感測該慣性感測裝置的該慣性運動；

其中，該第一慣性感測單元，該第二慣性感測單元，與該第三慣性感測單元除分別連接于該基板之外，其余各部份均各自獨立互不相連，且分別獨立感測該慣性感測裝置的慣性運動。

7.如權利要求1所述的慣性感測裝置，其特征在于，其中該第一慣性感測單元與該第二慣性感測單元為一加速度感測單元或一角度感測單元。

8.一種慣性感測裝置，其特征在于，其包含：

一基板；

一第一慣性感測單元，連接該基板，具有一容置空間；以及

一第二慣性感測單元，用以感測該慣性感測裝置的多個慣性運動，并連接該基板，且設置于該第一慣性感測單元的該容置空間內；

其中，該第一慣性感測單元與該第二慣性感測單元除分別連接于該基板之外，該第一慣性感測單元與該第二慣性感測單元均各自獨立互不相連，且分別獨立感測該慣性感測裝置的該慣性運動。

9.如權利要求8所述的慣性感測裝置，其特征在于，其中該第一慣性感測單元與該第二慣性感測單元為一加速度感測單元或一角度感測單元。

10.如權利要求8所述的慣性感測裝置，其特征在于，其中該第一慣性感測單元與該第二慣性感測單元為一加速度感測單元，該慣性運動包含該慣性感測裝置的一第一軸方向的加速度、一第二軸方向的加速度與一第三軸方向的加速度，該第一慣性感測單元感測該第一軸方向的加速度，該第二慣性感測單元感測該第二軸方向的加速度與該第三軸方向的加速度。

11.如權利要求10所述的慣性感測裝置，其特征在于，其中該第一慣性感測單元感測該第一軸方向的加速度為一Z軸方向的加速度，而該第二慣性感測單元感測該第二軸方向的加速度與第三軸方向的加速度為一X軸方向的加速度與一Y軸方向的加速度。