[發明專利]物理量傳感器及電子設備

有效

• 申請號: 201210291170.0
• 申請日: 2012-08-15
• 公開（公告）號: CN102954806A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 與田光宏
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01D5/12
• 分類號: G01D5/12;G01P3/44;G01P15/125
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

技術領域

本發明涉及一種物理量傳感器及具備物理量傳感器的電子設備。

背景技術

一直以來，作為物理量傳感器，已知一種半導體力學量傳感器（以下，稱為物理量傳感器），其具備：底板部，其通過形成于半導體基板上的、在橫向上延伸的空洞而被劃分，并位于該空洞的下方；框部，其通過空洞及形成于半導體基板上的、在縱向上延伸的槽而被劃分，并位于空洞及槽的旁邊；梁結構體，其通過空洞及槽而被劃分，并位于空洞的上方，且從框部起延伸，并且具有通過力學量（例如，加速度）而位移的可動電極；固定電極，其通過空洞及槽而被劃分，并位于空洞的上方，且從框部起延伸，并且與梁結構體的可動電極對置配置（例如，參照專利文獻1）。

根據專利文獻1，上述物理量傳感器為電容變化檢測型，且采用了如下的結構，即，來自第一固定電極的配線（以下，稱為第一配線）及來自第二固定電極的配線（以下，稱為第二配線）被設置在半導體基板的一個面上，且能夠將第一固定電極及第二固定電極的電位取出至外部。

由于上述物理量傳感器為了實現小型化而需要將第一配線和第二配線相互接近設置，因此存在第一配線與第二配線之間的寄生電容（散雜電容）增大的可能性。

由此，由于在上述物理量傳感器中，增大了的上述寄生電容被附加于檢測出的本來的靜電電容，因此存在作為電容變化檢測型的物理量傳感器的、檢測精度等的檢測特性劣化的可能性。

其結果為，上述物理量傳感器有可能對物理量檢測中的可靠性造成損害。特別是，當為差動檢測方式的物理量傳感器時，減少固定電極的配線與可動電極的配線之間的寄生電容成為了課題。

專利文獻1：日本特開2000-286430號公報

發明內容

本發明是為了解決上述課題中的至少一部分而被完成的，并能夠作為以下的方式或者應用例而實現。

應用例1

本應用例所涉及的物理量傳感器的特征在于，具備：基板；可動部，其被支承在所述基板上；可動電極部，其被設置在所述可動部上；固定電極部，其被設置在所述基板的主面上，且與所述可動電極部對置配置，所述固定電極部與被設置在所述基板的所述主面上的固定電極用配線相連接，所述可動電極部與被設置在所述基板的所述主面上的可動電極用配線相連接，在所述固定電極用配線與所述可動電極用配線之間的至少一部分上，設置有第一屏蔽部。

據此，在物理量傳感器中，固定電極部與固定電極用配線相連接，可動電極部通過可動部而與可動電極用配線相連接，并且在固定電極用配線與可動電極用配線之間的至少一部上，設置有屏蔽部。

由此，由于在物理量傳感器中，物理量檢測時的固定電極用配線與可動電極用配線之間的寄生電容通過屏蔽部而被降低，因此能夠減少檢測出的靜電電容值與本來的靜電電容值之間的誤差。

因此，物理量傳感器能夠提高檢測精度等的檢測特性。

其結果為，物理量傳感器能夠提高物理量檢測的可靠性。

應用例2

在上述應用例所涉及的物理量傳感器中，優選為，所述固定電極部具有被配置在所述可動電極部的一側的第一固定電極部、和被配置在另一側的第二固定電極部，所述固定電極用配線包括與所述第一固定電極部相連接的第一配線、和與所述第二固定電極部相連接的第二配線，在所述第一配線及所述第二配線之間的至少一部分上，設置有第二屏蔽部。

據此，由于在物理量傳感器中，在固定電極用配線的第一配線與第二配線之間的至少一部分上設置有屏蔽部，因此物理量檢測時的第一配線及第二配線之間的寄生電容通過屏蔽部而被降低。由此，物理量傳感器例如能夠進一步減少檢測出的靜電電容值與本來的靜電電容值之間的誤差。

因此，物理量傳感器能夠進一步提高檢測精度等的檢測特性。其結果為，物理量傳感器能夠進一步提高物理量檢測的可靠性。

應用例3

在上述應用例所涉及的物理量傳感器中，優選為，所述基板使用絕緣材料，而所述可動部、所述可動電極部及所述固定電極部使用半導體材料。

據此，由于物理量傳感器中，基板使用絕緣材料，可動部、可動電極部及固定電極部使用半導體材料，因此能夠切實地實施基板與可動部、可動電極部及固定電極部之間的絕緣分離。

應用例4

在上述應用例所涉及的物理量傳感器中，優選為，所述第一屏蔽部使用與所述可動部、所述可動電極部及所述固定電極部相同的材料。

據此，由于物理量傳感器中，屏蔽部使用與可動部、可動電極部及固定電極部相同的材料，因此能夠使用例如光刻技術或蝕刻技術，由一張板材一次性地形成屏蔽部與可動部、可動電極部及固定電極部。