[發明專利]超高亮度發光二極管及其制備方法無效
| 申請號: | 201210287977.7 | 申請日: | 2012-08-14 |
| 公開(公告)號: | CN102779913A | 公開(公告)日: | 2012-11-14 |
| 發明(設計)人: | 戴菁甫;張君逸;界曉菲 | 申請(專利權)人: | 天津三安光電有限公司 |
| 主分類號: | H01L33/10 | 分類號: | H01L33/10;H01L33/02;H01L33/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 300384 天津市*** | 國省代碼: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 超高 亮度 發光二極管 及其 制備 方法 | ||
1.超高亮度發光二極管,包括:
導電基板,其具有正、反兩主表面;
反射層,位于所述基板的正表面之上;
P型GaP窗口層,位于所述反射層之上,其厚度小于或等于2um,用于擴展電流的同時避免光在傳導過程中的散射損失;
發光外延層,位于所述P型GaP窗口層之上,其至下而上為p型限制層、發光層、n型限制層。
2.根據權利要求2所述的超高亮度發光二極管,其特征在于,還包括:n電極,形成于所述n型限制層之上;p電極,形成于所述導電基板的背面。
3.根據權利要求1所述的超高亮度發光二極管,其特征在于:所述p型GaP窗口層為C元素摻雜。
4.根據權利要求3所述的超高亮度發光二極管,其特征在于:所述C元素摻雜的p型GaP窗口層達到阻絕金屬擴散效果。
5.根據權利要求3所述的超高亮度發光二極管,其特征在于:所述p型GaP窗口層的C元素摻雜濃度大于1×1018cm-3。
6.超高亮度發光二極管的制備方法,包括步驟:
提供一生長襯底,在其上依次外延生長n型限制層、發光層和p型限制層,構成發光外延層;
在發光外延層上沉積一p型GaP窗口層,其厚度小于或等于2um,使得起到擴展電流作用的同時避免光在傳導過程中的散射損失;
在p型GaP窗口層上形成反射層;
提供一導電基板,基板與反射層粘接;
移除所述生長襯底。
7.根據權利要求6所述的超高亮度發光二極管的制備方法,其特征在于:還包括分別在n型限制層和基板背面上制作n、p電極。
8.根據權利要求6所述的超高亮度發光二極管的制備方法,其特征在于:所述p型GaP窗口層為C元素摻雜,其摻雜濃度大于1×1018cm-3。
9.根據權利要求8所述的超高亮度發光二極管的制備方法,其特征在于:在p型GaP窗口層外延生長過程通過輸入含C元素的物質引入C雜質。
10.根據權利要求8所述的超高亮度發光二極管的制備方法,其特征在于:在高濃度C摻雜的生長環境下,低溫外延生長獲得結構性高濃度C摻雜GaP窗口層。
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