[發(fā)明專利]一種非球面變焦距光刻物鏡系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210279812.5
• 申請日: 2012-08-08
• 公開（公告）號: CN102789044A
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉偉奇;呂博;馮睿;魏忠倫;柳華;康玉思;姜珊
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號: G02B15/173
• 分類號: G02B15/173;G03F7/20
• 代理公司: 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 南小平

1.一種非球面變焦距光刻物鏡系統(tǒng)，其特征在于，從物面一側(cè)到像面一側(cè)依次為：物面（O）、第一透鏡組（G1）、第二透鏡組（G2）、第三透鏡組（G3）、第四透鏡組（G4）、第五透鏡組（G5）和接收面（I）；

物面（O）為掩模板或曝光圖形點陣所在平面；

第一透鏡組（G1）為前固定組，具有正光焦度，用于固定物面（O）與變焦距系統(tǒng)第一片透鏡的距離；

第二透鏡組（G2）為變倍組，具有負(fù)光焦度，起到改變光刻物鏡焦距及像

面尺寸的作用；

第三透鏡組（G3）為補(bǔ)償組，具有正光焦度，作用在于當(dāng)變倍組移動過程中補(bǔ)償像面的移動，使像面在整個變倍過程中保持位置固定；

第四透鏡組（G4），具有負(fù)光焦度，第五透鏡組（G5），具有正光焦度，兩者構(gòu)成后固定組，用于保證光刻物鏡靠近像面一側(cè)的最后一片透鏡與像面距離不變；

像面（I）為刻蝕基片所在平面；

變焦距光刻物鏡系統(tǒng)共包括22塊透鏡，從靠近物面一側(cè)到靠近像面一側(cè)依次排列；

第一透鏡組（G1）由第一透鏡至第三透鏡組成，第一透鏡為雙凸透鏡、第二透鏡為負(fù)彎月透鏡和第三透鏡為雙凸透鏡；

第二透鏡組（G2）由第四透鏡和第五透鏡組成，第四透鏡為薄負(fù)透鏡，第五透鏡為負(fù)透鏡，且第四透鏡的后表面與第五透鏡的前表面曲率半徑相同，第四透鏡和第五透鏡可交合在一起或可無限接近；

第三透鏡組（G3）由第六透鏡和第七透鏡組成，第六透鏡為雙凸透鏡，第七透鏡為雙凸透鏡，同時，第六透鏡和第七透鏡的前表面為非球面；

第四透鏡組（G4）由第八透鏡至第十二透鏡組成，第八透鏡為正彎月透鏡、第九透鏡為負(fù)彎月透鏡、第十透鏡至第十二透鏡為薄負(fù)彎月透鏡；且第八透鏡的后表面與第九透鏡的前表面曲率半徑相同，第八透鏡和第九透鏡可交合在一起或可無限接近；

第五透鏡組（G5）由第十三透鏡至第二十二透鏡組成，第十三透鏡為負(fù)透鏡，后表面為非球面，第十四透鏡至第十五透鏡為正透鏡，第十七透鏡為正彎月透鏡，第十八透鏡為厚彎月鏡，第十九透鏡為負(fù)透鏡，第二十透鏡為薄正透鏡，第二十一透鏡和第二十二透鏡為厚正透鏡。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種非球面變焦距光刻物鏡系統(tǒng)，其特征在于，光刻物鏡系統(tǒng)中最大透鏡全口徑小于153mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種非球面變焦距光刻物鏡系統(tǒng)，其特征在于，光刻物鏡系統(tǒng)的總長為805mm，光學(xué)透鏡組的總長655.4mm，物面（O）到第一透鏡前表面的距離為147.5733mm,第二十二透鏡后表面到像面（I)的距離為3.5mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種非球面變焦距光刻物鏡系統(tǒng)，其特征在于，光刻物鏡系統(tǒng)的工作波長為410nm。