[發明專利]硅片切割廢液中碳化硅粉體回收提純方法無效
| 申請號: | 201210279479.8 | 申請日: | 2012-08-08 |
| 公開(公告)號: | CN102746936A | 公開(公告)日: | 2012-10-24 |
| 發明(設計)人: | 鐵生年;汪長安;侯思懿 | 申請(專利權)人: | 鐵生年 |
| 主分類號: | C10M175/00 | 分類號: | C10M175/00;C01B31/36 |
| 代理公司: | 西寧金語專利代理事務所 63101 | 代理人: | 哈慶華 |
| 地址: | 810016*** | 國省代碼: | 青海;63 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 硅片 切割 廢液 碳化硅 回收 提純 方法 | ||
1.硅片切割廢液中碳化硅粉體回收提純方法,其特征是,包括下述步驟:
(1)稀釋步驟 向切割廢液中加入稀釋劑攪拌;
(2)固液分離步驟 將反應后的懸浮液進行固液分離,得到固體物;
(3)洗滌步驟 用蒸餾水洗滌固體物至中性,離心,烘干;
(4)炭混合反應步驟 將一定量的固體物料和過量的焦炭混合,放置在1500℃~2000℃的氣氛爐中反應;
(5)提純步驟 將反應制得固體物料放置在氧氣氣氛爐中反應除去多余焦炭粉提純碳化硅粉體;
(6)分級步驟 將高純碳化硅粉體經分級設備進行分級;
(7)成品包裝步驟 對分出的不同粒徑的碳化硅粉體進行分號包裝。
2.根據權利要求1所述方法,其特征在于所述步驟(1)中的稀釋劑為無機酸或有機酸,其中無機酸為硫酸、硝酸、鹽酸、磷酸,有機酸為醋酸、檸檬酸;稀釋劑的質量濃度為5%~30%,其中固體與稀釋劑的比為1:2到1:6(g/mL),反應時間為2~5小時,反應溫度為室溫或者40℃~70℃。
3.根據權利要求1所述的硅片切割廢液中碳化硅粉體回收提純方法,其特征在于所述步驟(4)中的固體物料和焦炭的質量比為4:1~4:5;反應溫度為1500℃~2000℃。
4.根據權利要求1所述的硅片切割廢液中碳化硅粉體回收提純方法,其特征在于所述步驟(4)中高溫氣氛爐中氣體是氮氣、氬氣、氦氣中的一種。
5.根據權利要求1所述的硅片切割廢液中碳化硅粉體回收提純方法,其特征在于所述步驟(5)中氧氣氣氛爐反應溫度為800℃-1000℃。
6.根據權利要求1所述的硅片切割廢液中碳化硅粉體回收提純方法,其特征在于所述步驟(6)中的分級設備為風力分級機。
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