[發明專利]基板處理裝置及方法

有效

• 申請號: 201210265320.0
• 申請日: 2012-07-30
• 公開（公告）號: CN102898032A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 金哲佑;李晟熙
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: C03C17/00
• 分類號: C03C17/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 劉宗杰;鐘錦舜

技術領域

本發明涉及基板處理裝置，更詳細地說，涉及執行液晶顯示屏的工序處理的裝置。

背景技術

液晶顯示屏的制造工序包括：涂布工序，向玻璃基板表面上供給及涂布處理液；和涂敷(Coating)工序，在涂布了處理液的基板上形成涂層。作為執行涂布工序的裝置，使用以噴墨印刷方式在基板表面上直接印刷處理液的裝置。

涂布工序和涂敷工序在工序中使用的裝置互不相同，在每個獨立的腔室中執行工序。因此，在涂布裝置和涂敷裝置之間要求有用于傳送基板的傳送裝置。這種裝置有下述問題：不僅增加了整個設備面積，而且傳送基板增加了整個工序時間。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：韓國專利公開第10-2010-0060690號公報

發明內容

本發明的實施方式提供一種能夠縮短整個工序時間的裝置及方法。

此外，本發明的實施方式提供一種能夠減少設備整個面積的裝置。

此外，本發明的實施方式提供一種能夠用1個裝置涂布多種處理液的裝置及方法。

本發明一實施方式的基板處理裝置包括：基板支持單元，支持基板；噴墨嘴(噴墨噴嘴)，向上述基板吐出第1處理液；涂敷嘴(涂敷噴嘴)，向上述基板吐出與第1處理液不同的第2處理液；以及臺架單元，使上述噴墨嘴和上述涂敷嘴沿第1方向直線移動，使得上述噴墨嘴和上述涂敷嘴的位置相對于上述基板支持單元變更。

此外，上述臺架單元可以包括：第1臺架，支持上述噴墨嘴，橫穿上述基板支持單元的上部而從上述基板支持單元的一側向另一側沿上述第1方向直線移動；和第2臺架，支持上述涂敷嘴，橫穿上述基板支持單元的上部而從上述基板支持單元的一側向另一側沿上述第1方向直線移動。

此外，上述第1臺架和上述第2臺架可以沿一對導軌直線移動，該一對導軌在上述基板支持單元的兩側相互對置并沿上述第1方向配置。

此外，上述涂敷嘴中，其長度可沿從上部看時與上述第1方向垂直的第2方向配置，在底面上可沿上述第2方向形成吐出上述第2處理液的狹縫孔。

此外，可以在上述第1臺架上安裝有多個上述噴墨嘴；上述噴墨嘴沿從上部看時與上述第1方向垂直的第2方向排列；還包括噴墨嘴移動部，其使上述噴墨嘴沿上述第2方向直線移動，使得上述噴墨嘴相對于上述第1臺架的相對位置變更。

此外，多個上述噴墨嘴可沿上述第2方向排列成一列；至少提供2個以上的、上述噴墨嘴的列。

此外，上述臺架單元還可以包括臺架驅動部，其使上述第1臺架旋轉，使得上述第1臺架的長度方向按照相對于從上部看時與上述第1方向垂直的第2方向以規定角度傾斜的方式配置。

此外，上述臺架驅動部可以上述第1臺架的一端為旋轉中心而使上述第1

臺架的另一端旋轉。

此外，上述臺架單元可以包括第2臺架，其支持上述噴墨嘴和上述涂敷嘴，

橫穿上述基板支持單元的上部而從上述基板支持單元的一側向另一側沿上述

第1方向直線移動。

此外，上述涂敷嘴中，其長度可沿從上部看時與上述第1方向垂直的第2

方向配置，在底面上可沿上述第2方向形成吐出上述第2處理液的狹縫孔；上

述噴墨嘴沿上述第1方向分別位于上述涂敷嘴的前方和后方，其沿上述第2方向排列有多個。

本發明一實施方式的基板處理方法包括：第1處理液吐出階段，噴墨嘴在基板支持單元的上部沿第1方向直線移動，將第1處理液吐出到被上述基板支持單元支持的基板上；和第2處理液吐出階段，涂敷嘴在上述基板支持單元的上部沿第1方向直線移動，將與上述第1處理液不同的第2處理液吐出到上述基板上；上述第1處理液吐出階段和上述第2處理液吐出階段依次、連續進行。

此外，可以使上述噴墨嘴被支持在第1臺架上進行移動，該第1臺架能夠沿上述第1方向直線移動；上述涂敷嘴被支持在第2臺架上進行移動，該第2臺架與上述第1臺架并列配置，能夠沿上述第1方向直線移動。

此外，多個上述噴墨嘴可以沿從上部看時與上述第1方向垂直的第2方向排列成一列，相鄰的上述噴墨嘴之間的間隔被固定；上述第1臺架被旋轉規定角度而沿上述第2方向來變更上述噴墨嘴之間的間隔。

此外，上述噴墨嘴和上述涂敷嘴可以被支持在臺架上進行移動，該臺架能夠沿上述第1方向直線移動；上述噴墨嘴可以沿上述第1方向位于上述涂敷嘴的前方和后方中的至少某一方。

根據本發明的實施方式，在裝置之間不需要傳送基板，所以能縮短整個工序時間。