[發明專利]一種陣列基板、顯示裝置及陣列基板的制造方法

有效

• 申請號: 201210260947.7
• 申請日: 2012-07-25
• 公開（公告）號: CN102799038A
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發明（設計）人: 謝振宇
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種陣列基板，其特征在于，包括：包含多條數據線的數據線層，位于所述數據線層之上、包含多個導電阻擋部的導電阻擋層，位于所述導電阻擋層之上的鈍化層，以及位于所述鈍化層之上的透明導電層，其中，在每一條數據線的上方：

所述鈍化層上設置有過孔；

所述導電阻擋部位于過孔下方，并與對應的數據線接觸；

所述透明導電層通過過孔與對應的導電阻擋部連接。

2.如權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述鈍化層材質為非感光型樹脂。

3.如權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述導電阻擋部與透明導電層材質相同。

4.如權利要求3所述的陣列基板，其特征在于，所述導電阻擋部材質為氧化銦錫。

5.如權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，在每一條數據線的上方，所述導電阻擋部覆蓋對應的所述數據線。

6.如權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述數據線包括源極和漏極，所述導電阻擋部覆蓋對應的所述漏極。

7.一種顯示裝置，其特征在于，包括如權利要求1~6中任一項所述的陣列基板。

8.一種陣列基板的制造方法，其特征在于，包括：

形成包含多條數據線的數據線層和導電阻擋層，所述導電阻擋層包含位于每一條數據線之上的導電阻擋部；

形成位于導電阻擋層之上的鈍化層，并通過掩模構圖工藝在鈍化層上形成位于導電阻擋部上方的過孔；

形成位于鈍化層之上的透明導電層，所述透明導電層通過所述過孔與對應的導電阻擋部連接。

9.如權利要求8所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述鈍化層材質為非感光型樹脂；所述導電阻擋部與透明導電層材質相同。

10.如權利要求9所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述導電阻擋部材質為氧化銦錫。

11.如權利要求8所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述形成包含多條數據線的數據線層和導電阻擋層，包括：

依次在基板上沉積數據線層金屬和導電阻擋層金屬，通過一次掩模構圖工藝形成多條數據線及覆蓋每一條數據線的多個導電阻擋部。

12.如權利要求8所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述通過掩模構圖工藝在鈍化層上形成位于導電阻擋部上方的過孔，包括：

對鈍化層進行干法刻蝕，形成位于導電阻擋部上方的過孔。

13.如權利要求12所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述干法刻蝕所采用的氣體，包括六氟化硫、四氟化炭、氧氣和氦氣中的至少一種氣體。