[發(fā)明專利]抗蝕劑組合物和用于生產(chǎn)抗蝕圖案的方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210251310.1
• 申請(qǐng)日: 2012-07-19
• 公開（公告）號(hào): CN102890417A
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 市川幸司;安立由香子;藤田真吾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 住友化學(xué)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/004
• 分類號(hào): G03F7/004;G03F7/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 李新紅

1.一種抗蝕劑組合物，所述抗蝕劑組合物包含：

具有由式(I)表示的結(jié)構(gòu)單元的樹脂，

在堿性水溶液中不可溶或難溶但是通過(guò)酸的作用變得可溶于堿性水溶液并且不包含由式(I)表示的結(jié)構(gòu)單元的樹脂，和

由式(II)表示的酸生成劑，

其中R¹表示氫原子或甲基；

A¹表示C₁至C₆烷二基；

R²表示具有氟原子的C₁至C₁₀烴基；

其中R^II1和R^II2獨(dú)立地表示氟原子或C₁至C₆全氟烷基；

L^II1表示單鍵、C₁至C₆烷二基、C₄至C₈二價(jià)脂環(huán)烴基、-(CH₂)_t-CO-O-*或-(CH₂)_t-CO-O-CH₂-(CH₂)_u-*，所述烷二基、-(CH₂)_t-CO-O-*或-(CH₂)_t-CO-O-CH₂-(CH₂)_u-*中含有的一個(gè)或多個(gè)-CH₂-可以被-O-代替，t表示1至12的整數(shù)，u表示0至12的整數(shù)，*表示與Y^II1的連接；

Y^II1表示任選被取代的C₃至C₁₈脂環(huán)烴基，并且所述脂環(huán)烴基中含有的一個(gè)或多個(gè)-CH₂-可以被-O-、-CO-或-SO₂-代替；

R^II3、R^II4、R^II5、R^II6和R^II7獨(dú)立地表示氫原子、羥基、C₁至C₆烷基、C₁至C₆烷氧基、C₂至C₇烷氧基羰基或C₂至C₁₂酰氧基，

陽(yáng)離子的含硫環(huán)中所含有的一個(gè)或多個(gè)-CH₂-可以被-O-或-CO-代替；

n表示1至3的整數(shù)；

s表示0至3的整數(shù)；并且

R^II8在每一次出現(xiàn)時(shí)均獨(dú)立地表示C₁至C₆烷基。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑組合物，所述抗蝕劑組合物還包含由式(III)表示的酸生成劑；

其中R^III1和R^III2獨(dú)立地表示氟原子或C₁至C₆全氟烷基；

L^III1表示單鍵或C₁至C₁₇二價(jià)飽和烴基，所述飽和烴基中的一個(gè)或多個(gè)氫原子可以被氟原子或羥基代替，并且所述飽和烴基中含有的一個(gè)或多個(gè)-CH₂-可以被-O-或-CO-代替；

Y^III1表示任選被取代的C₁至C₁₈烷基或任選被取代的C₃至C₁₈脂環(huán)烴基，并且所述烷基和脂環(huán)烴基中含有的一個(gè)或多個(gè)-CH₂-可以被-O-、-CO-或-SO₂-代替；并且

Z⁺表示有機(jī)陽(yáng)離子。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的抗蝕劑組合物，其中式(III)中的Z⁺是三芳基锍陽(yáng)離子。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑組合物，其中式(I)中的A¹是1，2-亞乙基。