[發明專利]環狀結構及其相關微掃瞄鏡

無效

• 申請號: 201210248765.8
• 申請日: 2012-07-18
• 公開（公告）號: CN103376547A
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發明（設計）人: 李柏勛;陳明發
• 申請（專利權）人: 探微科技股份有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸勍

技術領域

本發明有關一種微掃瞄鏡，特別關于一種利用環狀結構以在不增加元件體積與工作電壓的運作條件下，可增加鏡面旋轉角度的微掃瞄鏡。

背景技術

傳統的微掃瞄鏡為一單軸式鏡面結構。為了有效提高投影面積，一般方式是經由增加微掃瞄鏡的旋轉角度來增加投影面積。已知可用來增加微掃瞄鏡的旋轉角度的方法有減少鏡面面積、加大工作電壓以及增加靜電梳狀結構的數量。然而，減少鏡面的面積同時會增加光路對準精度要求與成本。加大工作電壓的方式雖不需增加微掃瞄鏡的元件體積，但較為消耗能量，并不符合節能省電的環保意識。

此外，增加靜電梳狀結構的數量可有效提高微掃瞄鏡鏡面的旋轉角度，但為了配置更密集的靜電梳狀結構，微掃瞄鏡勢必要相對應地加大其元件體積，而元件體積加大會提高其旋轉時的空氣阻尼，因此需要提供更高的工作電壓來增加鏡面的旋轉角度，以克服因元件體積增大而提高的空氣阻尼，如此體積增大及需要更高工作電壓的微掃瞄鏡既不環保，也不符合輕量化的產品趨勢，故如何克服上述缺點，而制作出較佳品質的微掃瞄鏡，即為相關產業的重要發展課題。

有鑒于此，提供一種可改善至少一種上述缺失的，乃為此業界亟待解決的問題。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種利用環狀結構以在不增加元件體積與工作電壓的運作條件下，可增加鏡面旋轉角度的微掃瞄鏡。

為達上述目的，本發明所揭露的一種環狀結構，設置于一鏡面結構與一基板之間。該環狀結構包含至少一第一邊、至少一第二邊以及一第一梳狀電極。該第二邊的一端連接于該第一邊，該第二邊具有一第一側與一第二側，該第一側鄰近該鏡面結構，且該第二側鄰近該基板。該第一梳狀電極設置于該第二邊上。

為達上述目的，本發明所揭露的一種微掃瞄鏡，其包含一基板、一環狀結構及一鏡面結構。該基板具有一中空區域與一第一轉軸。該環狀結構設置于該基板的該中空區域內，且包覆該鏡面結構。該鏡面結構具有一第二轉軸，該第二轉軸連接于該環狀結構。該環狀結構包含至少一第一邊、至少一第二邊及一第一梳狀電極。該第一邊連接于該第一轉軸。該第二邊的一端連接于該第一邊。該第二邊具有一第一側與一第二側，該第一側鄰近該鏡面結構，且該第二側鄰近該基板。該第一梳狀電極設置于該第二邊上。

為讓上述目的、技術特征及優點能更明顯易懂，下文以較佳的實施例配合附圖進行詳細說明。

附圖說明

圖1為本發明的第一實施例的微掃瞄鏡的上視圖；

圖2為本發明的第二實施例的微掃瞄鏡的上視圖；

圖3為本發明的第三實施例的微掃瞄鏡的上視圖；及

圖4與圖5分別為本發明的第三實施例的微掃瞄鏡于不同振動頻率下的部分外觀示意圖。

主要元件符號說明：

10、10’、10”?微掃瞄鏡

12?基板

121?中空區域

123?第一轉軸

14?環狀結構

16?第一邊

18?第二邊

181?第一側

182?第二側

183?弧形區段

20?第一梳狀電極

22?鏡面結構

221?第二轉軸

24?第二梳狀電極

具體實施方式

請參閱圖1，圖1為本發明的第一實施例的一微掃瞄鏡10的上視圖。微掃瞄鏡10包含一基板12，且基板12具有一中空區域121與一第一轉軸123。微掃瞄鏡10另包含一環狀結構14，設置于基板12之中空區域121內部。環狀結構14包含二個第一邊16、二個第二邊18以及一第一梳狀電極20。

微掃瞄鏡10另包含一鏡面結構22。鏡面結構22具有一第二轉軸221，第二轉軸221連接于環狀結構14，以使鏡面結構22以可相對旋轉方式裝設于環狀結構14內。換句話說，環狀結構14可用來包覆鏡面結構22，且微掃瞄鏡10利用環狀結構14的設計特征來提高鏡面結構22的旋轉角度。

二個第一邊16分別連接于第一轉軸123與第二轉軸221之間。二個第二邊18的一端分別連接于其中一個第一邊16的兩端，且各第二邊18的另一端則因為透過部分中空區域121間隔開，而未與另一個第一邊16發生直接接觸，以達到電性隔絕的作用。