[發明專利]溫度檢測裝置、襯底處理裝置和半導體裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201210246306.6
• 申請日: 2012-07-13
• 公開（公告）號: CN102879116A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 小杉哲也;上野正昭;山口英人
• 申請（專利權）人: 株式會社日立國際電氣
• 主分類號: G01K7/02
• 分類號: G01K7/02;H01L21/205;H01L21/225
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉

1.一種溫度檢測裝置，其特征在于，具有絕緣管、熱電偶線材和緩沖區域，該絕緣管以沿鉛垂方向延伸的方式設置，具有鉛垂方向的貫穿孔；該熱電偶線材在上端具有熱電偶接合部，且該熱電偶線材穿過上述絕緣管的貫穿孔，從上述絕緣管的下端伸出的鉛垂方向的部分的朝向改變為水平方向；該緩沖區域是設于上述絕緣管的下方的空間，且抑制發生從上述絕緣管的下端伸出的熱電偶線材的熱膨脹受到拘束的狀況，

在上述絕緣管的上端面與上述熱電偶接合部之間的熱電偶線材上設有支承于上述絕緣管的上端面的被支承部。

2.根據權利要求1所述的溫度檢測裝置，其特征在于，還具有支承上述絕緣管的下端的絕緣管止擋件，使熱電偶線材穿過設于上述絕緣管止擋件的鉛垂方向的貫穿孔。

3.根據權利要求1所述的溫度檢測裝置，其特征在于，上述被支承部是使上述絕緣管的上端面與上述熱電偶接合部之間的熱電偶線材向水平方向外側鼓起而成的鼓起部。

4.根據權利要求3所述的溫度檢測裝置，其特征在于，上述鼓起部的水平方向的長度比將上述絕緣管的上端面中的上述絕緣管的2個貫穿孔的外緣連結的最大長度即孔寬度長。

5.根據權利要求1所述的溫度檢測裝置，其特征在于，該溫度檢測裝置還具有將從上述絕緣管的下端伸出后朝向改變為水平方向的熱電偶線材的一部分固定的線材保持部。

6.根據權利要求5所述的溫度檢測裝置，其特征在于，還具有收容上述絕緣管的保護管和支承該保護管的下部的保護管保持架，上述絕緣管的下端從上述保護管的下端開口露出在上述保護管保持架內，上述保護管保持架內的上述絕緣管的下端的高度和上述線材保持部的高度比上述保護管保持架的底部高10mm以上。

7.根據權利要求1所述的溫度檢測裝置，其特征在于，該溫度檢測裝置還具有支承上述絕緣管的下端的絕緣管止擋件，使熱電偶線材穿過設于上述絕緣管止擋件的鉛垂方向的貫穿孔。

8.根據權利要求5所述的溫度檢測裝置，其特征在于，上述絕緣管的下端的高度比上述線材保持部的高度高。

9.根據權利要求7或8所述的溫度檢測裝置，其特征在于，用上述絕緣管止擋件支承上述絕緣管的下端，用上述保護管保持架的底部支承上述絕緣管止擋件的下端。

10.根據權利要求1所述的溫度檢測裝置，其特征在于，在上述絕緣管上存在4個上述鉛垂方向的貫穿孔，使2組熱電偶線材穿過1個絕緣管。

11.根據權利要求1所述的溫度檢測裝置，其特征在于，挖空上述絕緣管的一部分，在該挖空部分注入粘接劑，將上述熱電偶線材固定于上述絕緣管。

12.根據權利要求11所述的溫度檢測裝置，其特征在于，在使露出于上述挖空部分的熱電偶線材彎曲的狀態下注入粘接劑而固定該熱電偶線材。

13.根據權利要求11或12所述的溫度檢測裝置，其特征在于，將上述熱電偶線材固定于上述絕緣管的位置為從上述絕緣管的中間部向頂端側偏離的位置。

14.一種襯底處理裝置，包括：舟皿，以在鉛垂方向分別隔開間隔的方式層疊地保持多張襯底；反應管，收容上述舟皿，并對保持于該舟皿上的上述襯底進行處理；加熱部，設置于上述反應管的周圍，并加熱被收容于上述反應管內的上述襯底；溫度檢測裝置，用于進行上述反應管內的溫度檢測；處理氣體供給部，向上述反應管內供給處理氣體；以及排氣部，從上述反應管內排出氣體，其特征在于，上述溫度檢測裝置具有絕緣管、熱電偶線材和緩沖區域，該絕緣管以沿鉛垂方向延伸的方式設置，具有鉛垂方向的貫穿孔；該熱電偶線材在上端具有熱電偶接合部，且該熱電偶線材穿過上述絕緣管的貫穿孔，從上述絕緣管的下端伸出的鉛垂方向的部分的朝向改變為水平方向；該緩沖區域是設于上述絕緣管的下方的空間，且抑制發生從上述絕緣管的下端伸出的熱電偶線材的熱膨脹受到拘束的狀況，

在上述絕緣管的上端面與上述熱電偶接合部之間的熱電偶線材上設有支承于上述絕緣管的上端面的被支承部。