[發(fā)明專利]芯片承載基板結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210233002.6 | 申請日: | 2012-07-06 |
| 公開(公告)號: | CN103531563A | 公開(公告)日: | 2014-01-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 林定皓;呂育德;盧德豪 | 申請(專利權(quán))人: | 景碩科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/495 | 分類號: | H01L23/495 |
| 代理公司: | 北京華夏博通專利事務(wù)所(普通合伙) 11264 | 代理人: | 劉俊 |
| 地址: | 中國臺灣桃園縣*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 芯片 承載 板結(jié) | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種芯片承載基板結(jié)構(gòu),主要是利用基底上增加阻隔層,以維持凸塊(Paddle)結(jié)構(gòu)的制作恒定性,并使芯片承載基板不易發(fā)生脫層問題。
背景技術(shù)
如圖1A及圖1B,分別為現(xiàn)有技術(shù)芯片承載基板結(jié)構(gòu)第一示例及第二示例的剖面示意圖。如圖1A所示,現(xiàn)有技術(shù)芯片承載基板結(jié)構(gòu)100包含一金屬基底層10、形成在金屬基底層10上的凸塊結(jié)構(gòu)(paddle)15、絕緣材料層30、線路層40以及防焊層60,絕緣材料層30填入凸塊結(jié)構(gòu)15與金屬基底層10之間的空隙,但凸塊結(jié)構(gòu)15的一平面從絕緣材料層30露出,而形成一共面平面。線路層40形成在該共面平面之上,與凸塊結(jié)構(gòu)15連接,而防焊層60形成于絕緣材料層30與線路層40之上,包覆部分線路層40,以免在形成焊墊(未顯示)時,造成短路。
如圖1B所示,現(xiàn)有技術(shù)芯片承載基板結(jié)構(gòu)150,在第一示例的結(jié)構(gòu)作為變化,是在絕緣材料層30中埋入碳纖維預(yù)浸布50以及形成于其上的導(dǎo)電層55,線路層式形成于凸塊結(jié)構(gòu)15、絕緣材料層30及導(dǎo)電層55的一共面平面上,與該凸塊結(jié)構(gòu)15及該導(dǎo)電層50連接。
現(xiàn)有的芯片承載板結(jié)構(gòu)的缺點在于,凸塊結(jié)構(gòu)15通常是以蝕刻方式,直接從線路層40產(chǎn)生,由于都是同一種材質(zhì),在量產(chǎn)時凸塊結(jié)構(gòu)15的形狀、蝕刻的深度、空缺的深度都難以維持一定,這使得不論是后續(xù)的絕緣材料層30難以維持平坦表面,碳纖維預(yù)浸布50以及形成于其上的導(dǎo)電層55的位置也難以恒定,這在受到外力時芯片承載基板容易發(fā)生脫層的現(xiàn)象,使得良率難以提升。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在提供一種芯片承載基板結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)包含:一金屬基底層;一阻隔層,形成在該金屬基底層上,至少覆蓋該金屬基底層上表面的一部分;一凸塊結(jié)構(gòu),形成于該阻隔層上;一絕緣材料層,填入該凸塊結(jié)構(gòu)與該阻隔層之間的空隙;一線路層,形成在該絕緣材料層及該凸塊結(jié)構(gòu)上,且與該凸塊結(jié)構(gòu)連接;以及一防焊層,形成于該絕緣材料與該線路層之上,包覆部分的該線路層,其中該凸塊結(jié)構(gòu)的一表面從該絕緣材料層露出,該表面與該絕緣材料層形成一共面平面,該線路層形成在部份的該共面平面之上。
本發(fā)明的另一目的在提供一種芯片承載基板結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)包含:一金屬基底層;一阻隔層,形成在該金屬基底層上,至少覆蓋該金屬基底層上表面的一部分;一凸塊結(jié)構(gòu),形成于該阻隔層上;一絕緣材料層,填入該凸塊結(jié)構(gòu)與該阻隔層之間的空隙;至少一碳纖維預(yù)浸布;至少一導(dǎo)電層,形成于該至少一碳纖維預(yù)浸布上,該各導(dǎo)電層與該碳纖維預(yù)浸布為一對一的配置,該至少一導(dǎo)電層與該凸塊結(jié)構(gòu)的一表面從該絕緣材料層露出,使該至少一導(dǎo)電層、該凸塊結(jié)構(gòu)的該表面與該絕緣層形成一共面表面;一線路層,形成在部份的該共面平面上,且與該凸塊結(jié)構(gòu)及該至少一導(dǎo)電層連接;以及一防焊層,將未被該線路層覆蓋的該絕緣材料及該導(dǎo)電層包覆,同時包覆部分的該線路層。
該阻隔層可以完全覆蓋金屬基底層上表面,或是僅位于凸塊結(jié)構(gòu)的底部,藉由設(shè)置阻隔層于金屬基底層及凸塊結(jié)構(gòu)之間,能夠使得在制作過程使凸塊結(jié)構(gòu)的形狀、深度維持恒定,避免產(chǎn)生深度不一致及容易脫層的問題,提升整體制作的良率。
附圖說明
圖1A是現(xiàn)有技術(shù)芯片承載基板結(jié)構(gòu)第一示例的剖面示意圖。
圖1B是現(xiàn)有技術(shù)芯片承載基板結(jié)構(gòu)第一示例的剖面示意圖。
圖2A是本發(fā)明芯片承載基板結(jié)構(gòu)第一實施例的剖面示意圖。
圖2B是本發(fā)明芯片承載基板結(jié)構(gòu)第二實施例的剖面示意圖。
圖3A是本發(fā)明芯片承載基板結(jié)構(gòu)第三實施例的剖面示意圖。
圖3B是本發(fā)明芯片承載基板結(jié)構(gòu)第四實施例的剖面示意圖。
其中,附圖標(biāo)記說明如下:
1????芯片承載基板結(jié)構(gòu)
2????芯片承載基板結(jié)構(gòu)
3????芯片承載基板結(jié)構(gòu)
4????芯片承載基板結(jié)構(gòu)
10???金屬基底層
11???金屬基底層
13???凸塊結(jié)構(gòu)
15???凸塊結(jié)構(gòu)
20???阻隔層
22???阻隔層
30???絕緣材料層
40???線路層
50???碳纖維預(yù)浸布
55???導(dǎo)電層
60???防焊層
100??芯片承載基板結(jié)構(gòu)
150??芯片承載基板結(jié)構(gòu)
具體實施方式
以下配合附圖及附圖標(biāo)記對本發(fā)明的實施方式做更詳細(xì)的說明,使熟習(xí)本領(lǐng)域的技術(shù)人員在研讀本說明書后能據(jù)以實施。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于景碩科技股份有限公司,未經(jīng)景碩科技股份有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210233002.6/2.html,轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇:多芯片模塊
- 下一篇:半導(dǎo)體裝置





