[發(fā)明專利]一種筆形海綿掉落探測裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210232393.X | 申請日： | 2012-07-06 |
| 公開（公告）號： | CN103529484A | 公開（公告）日： | 2014-01-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 龔小春;夏金偉;陳濱;姜北 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號： | G01V8/12 | 分類號： | G01V8/12 |
| 代理公司： | 上海信好專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 張靜潔;徐雯瓊 |
| 地址： | 201203 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 筆形 海綿 掉落 探測 裝置 | ||
1.一種筆形海綿掉落探測裝置，化學機械研磨設(shè)備中設(shè)有第二階段清潔器，該第二階段清潔器包含用于放置晶圓的平臺（3’），以及設(shè)置在平臺（3’）一側(cè)的機械臂（4），機械臂（4）的端部設(shè)有固定器（2），筆形海綿（1）設(shè)置在該固定器（2）中；
其特征在于，本探測裝置包含：
固定支架（7），其固定在所述機械臂（4）的端部；
傳感器（6），其固定在所述固定支架（7）的端部；
所述的傳感器（6）靠近所述的筆形海綿（1）設(shè)置，該筆形海綿（1）與傳感器（6）之間的距離在傳感器（6）的探測范圍內(nèi)；
所述的傳感器（6）的輸出端電路連接外接的主控制器。
2.如權(quán)利要求1所述的一種筆形海綿掉落探測裝置，其特征在于，所述的傳感器（6）采用光電接近傳感器。
3.如權(quán)利要求2所述的一種筆形海綿掉落探測裝置，其特征在于，所述的傳感器（6）包含分別與外接的主控制器電路連接的發(fā)光二級管和光電三極管，和分別靠近發(fā)光二級管發(fā)光處和光電三極管光接收端設(shè)置的透鏡；
發(fā)光二級管發(fā)光，光經(jīng)過傳感器（6）探測范圍內(nèi)的被測物反射，通過透鏡入射光電三極管；當無被測物反射，光電三極管檢測不到入射光時，即發(fā)送信號至外接的主控制器。
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