[發(fā)明專利]一種工件臺(tái)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210229098.9
• 申請(qǐng)日: 2012-07-03
• 公開（公告）號(hào): CN103531502A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳飛;劉劍;張志剛;袁志揚(yáng);張俊;李小平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種工件臺(tái)裝置，其特征是，包括工件臺(tái)，該工件臺(tái)包括微動(dòng)臺(tái)及儲(chǔ)能單元，該儲(chǔ)能單元為微動(dòng)臺(tái)提供電能，所述儲(chǔ)能單元位于所述微動(dòng)臺(tái)上；該工件臺(tái)裝置還包括充電機(jī)械手、換水機(jī)械手以及無線控制系統(tǒng)，所述充電機(jī)械手為所述儲(chǔ)能單元充電；所述換水機(jī)械手為所述工件臺(tái)內(nèi)的冷卻循環(huán)系統(tǒng)更換冷卻介質(zhì)；所述無線控制系統(tǒng)控制所述充電機(jī)械手及換水機(jī)械手。

2.如權(quán)利要求1的工件臺(tái)裝置，其特征是，所述無線控制系統(tǒng)包括無線信號(hào)發(fā)射器和無線信號(hào)接收器。

3.如權(quán)利要求2的工件臺(tái)裝置，其特征是，所述無線信號(hào)發(fā)射器位于工件臺(tái)固定模塊上，用于發(fā)射控制信號(hào)，無線信號(hào)接收器位于所述微動(dòng)臺(tái)上，用于接收控制信號(hào)。

4.如權(quán)利要求1的工件臺(tái)裝置，其特征是，所述微動(dòng)臺(tái)在一個(gè)工作循環(huán)內(nèi)經(jīng)歷等待工位、測(cè)量工位和曝光工位；當(dāng)微動(dòng)臺(tái)處于等待工位時(shí)，所述無線控制系統(tǒng)控制所述微動(dòng)臺(tái)的充電接口與所述充電機(jī)械手的充電接口連接，向所述儲(chǔ)能單元充電；當(dāng)微動(dòng)臺(tái)處于等待工位時(shí)，所述無線控制系統(tǒng)控制所述微動(dòng)臺(tái)的換液接口與所述換水機(jī)械手的換液接口連接，對(duì)所述工件臺(tái)更換冷卻介質(zhì)。

5.一種工件臺(tái)裝置，其特征是，包括至少一個(gè)工件臺(tái)，該工件臺(tái)包括微動(dòng)臺(tái)及儲(chǔ)能單元，該儲(chǔ)能單元為微動(dòng)臺(tái)提供電能，所述儲(chǔ)能單元位于所述微動(dòng)臺(tái)上；該工件臺(tái)裝置還包括與工件臺(tái)數(shù)量對(duì)應(yīng)的充電機(jī)械手、換水機(jī)械手以及無線控制系統(tǒng)，所述每個(gè)充電機(jī)械手為對(duì)應(yīng)工作臺(tái)內(nèi)的儲(chǔ)能單元充電；所述每個(gè)換水機(jī)械手為對(duì)應(yīng)的工件臺(tái)內(nèi)的冷卻循環(huán)系統(tǒng)更換冷卻介質(zhì)；所述每個(gè)無線控制系統(tǒng)控制對(duì)應(yīng)的充電機(jī)械手及換水機(jī)械手。

6.如權(quán)利要求5的工件臺(tái)裝置，其特征是，所述每個(gè)無線控制系統(tǒng)均包括無線信號(hào)發(fā)射器和無線信號(hào)接收器。

7.如權(quán)利要求6的工件臺(tái)裝置，其特征是，所述無線信號(hào)發(fā)射器位于所述工件臺(tái)固定模塊上，用于發(fā)射控制信號(hào)；所述無線信號(hào)接收器位于所述微動(dòng)臺(tái)上，用于接收控制信號(hào)。

8.如權(quán)利要求5的工件臺(tái)裝置，其特征是，所述每個(gè)微動(dòng)臺(tái)在一個(gè)工作循環(huán)內(nèi)經(jīng)歷等待工位、測(cè)量工位和曝光工位；當(dāng)微動(dòng)臺(tái)處于等待工位時(shí)，與所述微動(dòng)臺(tái)對(duì)應(yīng)的無線控制系統(tǒng)控制所述微動(dòng)臺(tái)的充電接口和與所述微動(dòng)臺(tái)對(duì)應(yīng)的充電機(jī)械手的充電接口連接，向所述微動(dòng)臺(tái)上的儲(chǔ)能單元充電；當(dāng)微動(dòng)臺(tái)處于等待工位時(shí)，與所述微動(dòng)臺(tái)對(duì)應(yīng)的無線控制系統(tǒng)控制所述微動(dòng)臺(tái)的換液接口和與所述微動(dòng)臺(tái)對(duì)應(yīng)的換水機(jī)械手的換液接口連接，對(duì)所述工件臺(tái)更換冷卻介質(zhì)。

9.如權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)所述的工件臺(tái)裝置，其特征是，所述儲(chǔ)能單元為可充電電池或大電容儲(chǔ)能裝置。

10.如權(quán)利要求9所述的工件臺(tái)裝置，其特征是，所述可充電電池為鋰電池、鎳鎘電池或鎳氫電池。

11.如權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)所述的工件臺(tái)裝置，其特征是，所述的冷卻循環(huán)系統(tǒng)包括依次連接的第一電磁閥、微型泵、散熱模塊、冷卻介質(zhì)存儲(chǔ)箱、溫度傳感器以及第二電磁閥。

12.如權(quán)利要求11所述的工件臺(tái)裝置，其特征是，所述第一電磁閥與第二電磁閥分別控制冷卻介質(zhì)的進(jìn)入量和排出量。