[發(fā)明專利]利用超短脈沖激光從兩面切割加工對象物的方法和裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210223214.6
• 申請日: 2012-06-29
• 公開（公告）號: CN103008887A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙裕興;狄建科;益凱劼;張子國;閆華
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州德龍激光有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/067;B23K26/16;B23K26/42;C03B33/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 沙捷;陳曉帆

1.一種利用激光切割加工對象物的方法，包括：

提供第一激光束和第二激光束；

將第一激光束聚焦于加工對象物的第一側(cè)的表面上，由此對第一側(cè)的表面進(jìn)行切割；

將第二激光束聚焦于加工對象物的與所述第一側(cè)相反的第二側(cè)的表面上，由此對第二側(cè)的表面進(jìn)行切割；

使第一激光束和第二激光束的焦點(diǎn)同時(shí)向加工對象物的內(nèi)部移動(dòng)，由此在加工對象物的內(nèi)部形成相應(yīng)的切割區(qū)；

當(dāng)?shù)谝患す馐偷诙す馐诩庸ο笪锏膬?nèi)部形成的切割區(qū)交匯時(shí)使加工對象物被分割開。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一激光束和所述第二激光束是由一激光源將其發(fā)出的激光束經(jīng)光學(xué)系統(tǒng)調(diào)制成兩路激光而產(chǎn)生的。

3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中所述激光源為超短脈沖激光器。

4.如權(quán)利要求3所述的方法，其中所述超短脈沖激光器是波長范圍為266-1064nm的納秒、皮秒或飛秒激光器。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述加工對象物為透明材料。

6.如權(quán)利要求5所述的方法，其中所述透明材料為Gorilla、Sodalime或Dragontrail玻璃。

7.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一激光束與所述第二激光束相對于所述加工對象物大體同軸布置。

8.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一激光束與所述第二激光束以規(guī)定間隔由加工對象物的外側(cè)向其內(nèi)部逐層地對加工對象物進(jìn)行切割。

9.一種利用激光切割加工對象物的裝置，包括：

激光源部分，包括產(chǎn)生激光束的激光器；

激光光路部分，用于將由激光器產(chǎn)生的激光束分成第一激光束和第二激光束，并將第一激光束和第二激光束分別聚焦在待切割的加工對象物兩側(cè)的表面上，使第一激光束和第二激光束運(yùn)動(dòng)加工出所需要的圖形，并通過將第一激光束和第二激光束的焦點(diǎn)向加工對象物的內(nèi)部移動(dòng)到一交匯處使加工對象物被分割開；

激光加工部分，其包括夾持加工對象物的夾具以及使加工對象物在加工后被移出的移送系統(tǒng)。

10.如權(quán)利要求9所述的裝置，其中所述激光器是波長范圍為266-1064nm的納秒、皮秒或飛秒激光器。

11.如權(quán)利要求9所述的裝置，其中所述激光光路部分包括光學(xué)掃描聚焦系統(tǒng)，其使第一激光束和第二激光束運(yùn)動(dòng)加工出所需要的圖形，并通過將第一激光束和第二激光束的焦點(diǎn)向加工對象物的內(nèi)部移動(dòng)到所述交匯處。

12.如權(quán)利要求11所述的裝置，其中所述光學(xué)掃描聚焦系統(tǒng)包括3D動(dòng)態(tài)掃描聚焦鏡和3D動(dòng)態(tài)聚焦振鏡。

13.如權(quán)利要求9所述的裝置，還包括吹氣系統(tǒng)和集塵系統(tǒng)，用于去除和收集利用激光切割加工對象物的過程中產(chǎn)生的殘?jiān)?/p>

14.如權(quán)利要求9所述的裝置，其中所述加工對象物為透明材料。

15.如權(quán)利要求9所述的裝置，其中所述透明材料為Gorilla、Sodalime或Dragontrail玻璃。