[發明專利]硅太陽能電池用光電轉化透明薄膜

無效

• 申請號: 201210220344.4
• 申請日: 2012-06-29
• 公開（公告）號: CN102723382A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發明（設計）人: 葛波
• 申請（專利權）人: 蘇州嘉言能源設備有限公司
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 傅靖

1.一種硅太陽能電池用光電轉化透明薄膜，其特征在于所述的透明薄膜的組成為15-22.5wt%的氧化銦，0.15-0.25?wt%的鈰，27.5-42.5wt%的二氧化錫以及余量的氧化鋅。

2.權利要求1所述的透明薄膜，其特征在于所述透明薄膜的厚度為100-250nm。

3.權利要求1所述的透明薄膜，其特征在于所述透明薄膜采用磁控濺射方法制備。