[發(fā)明專利]閘閥和使用其的基板處理系統(tǒng)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210218751.1
• 申請(qǐng)日: 2012-06-27
• 公開（公告）號(hào): CN102853099A
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 達(dá)下弘一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): F16K3/18
• 分類號(hào): F16K3/18;F16K27/04;H01L21/67
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種閘閥，其特征在于，具備：

取出和放入被處理體的多個(gè)開口部；

被按壓于所述開口部的閥體；

設(shè)置在所述閥體的按壓部；

與所述開口部的開口面平行地滑動(dòng)的主滑動(dòng)部；和

凸輪，設(shè)置在所述主滑動(dòng)部上，包括突起部和從該突起部呈坡狀傾斜的傾斜部，在所述閥體與所述開口部正對(duì)的狀態(tài)下按壓所述閥體的按壓部，

所述閥體具有作為打開所述開口部的開放部起作用的至少一個(gè)縫隙狀開口，使與所述縫隙狀開口相鄰的部位成為關(guān)閉所述多個(gè)開口部的閉塞部。

2.如權(quán)利要求1所述的閘閥，其特征在于：

當(dāng)關(guān)閉所述多個(gè)開口部時(shí)，使所述閥體的閉塞部的位置向與所述多個(gè)開口部正對(duì)的位置移動(dòng)，通過所述凸輪向所述開口部的開口面按壓所述閥體，通過所述閉塞部關(guān)閉所述開口部，

當(dāng)打開所述多個(gè)開口部時(shí)，解除所述凸輪的按壓，并且，使所述閥體的縫隙狀開口的位置向與所述多個(gè)開口部正對(duì)的位置移動(dòng)，通過所述縫隙狀開口打開所述開口部。

3.如權(quán)利要求2所述的閘閥，其特征在于，還具備：

副滑動(dòng)部，其配置于所述閥體和所述主滑動(dòng)部之間，與所述開口部的開口面平行地滑動(dòng)，

所述副滑動(dòng)部具備拉回機(jī)構(gòu)，該拉回機(jī)構(gòu)保持所述閥體，并且當(dāng)所述凸輪的按壓被解除時(shí)，將所述閥體從所述開口部的開口面拉回。

4.如權(quán)利要求3所述的閘閥，其特征在于：

所述主滑動(dòng)部具備拉掛所述副滑動(dòng)部的拉掛部，

所述主滑動(dòng)部通過與所述開口部的開口面平行地滑動(dòng)，解除所述凸輪的按壓，并且，通過所述拉掛部拉掛所述副滑動(dòng)部，使所述副滑動(dòng)部與所述閥體一起在與所述開口部平行的方向上滑動(dòng)，通過所述縫隙狀開口打開所述開口部。

5.如權(quán)利要求4所述的閘閥，其特征在于，還具備：

使所述閥體的滑動(dòng)停止的閥體制動(dòng)器，

當(dāng)所述閥體的滑動(dòng)被所述制動(dòng)器停止后，通過所述主滑動(dòng)部進(jìn)一步滑動(dòng)，解除由所述拉掛部進(jìn)行的所述主滑動(dòng)部和所述副滑動(dòng)部的拉掛，并且，所述凸輪向所述開口部的開口面按壓所述閥體。

6.如權(quán)利要求5所述的閘閥，其特征在于：

在所述閥體制動(dòng)器和所述閥體之間設(shè)置有使所述閥體在與所述開口部的開口面正對(duì)的方向上進(jìn)退的輥。

7.如權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的閘閥，其特征在于：

所述閥體的閉塞部的與所述開口部相反一側(cè)的表面上設(shè)置有肋。

8.如權(quán)利要求7所述的閘閥，其特征在于：

所述肋是截面為具有長(zhǎng)軸和短軸的矩形形狀的棒狀部件，所述棒狀部件的短軸的表面與所述閥體的閉塞部連接。

9.如權(quán)利要求7所述的閘閥，其特征在于：

所述肋是截面為三角形形狀的桁架狀部件，所述桁架狀部件的一邊為所述閥體的閉塞部，或者所述桁架狀部件的一邊與所述閥體的閉塞部連接。

10.如權(quán)利要求7所述的閘閥，其特征在于：

所述閥體的按壓部沿所述開口部的兩側(cè)部側(cè)設(shè)置在與所述開口部相反一側(cè)的表面上。

11.如權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的閘閥，其特征在于：

所述主滑動(dòng)部具備使所述被處理體通過的被處理體通過用缺口部。

12.如權(quán)利要求11所述的閘閥，其特征在于：

所述副滑動(dòng)部，在所述主滑動(dòng)部的處于所述被處理體通過用缺口部的外側(cè)的兩側(cè)部和所述閥體的兩側(cè)部之間分別分開各設(shè)置有至少一個(gè)。

13.如權(quán)利要求12所述的閘閥，其特征在于：

所述主滑動(dòng)部具備收納所述副滑動(dòng)部的拉回機(jī)構(gòu)的前端部分的防緩沖用缺口部。

14.一種基板處理系統(tǒng)，其特征在于，具備：

處理室，其具有取出和放入被處理體的開口部，能夠使所述被處理體處于真空狀態(tài)下，對(duì)所述被處理體實(shí)施處理；

負(fù)載鎖定室，其具有取出和放入所述被處理體的開口部，能夠使所述被處理體能夠處于大氣狀態(tài)下和真空狀態(tài)下兩者，交換處理前和完成處理的被處理體；和

搬送室，其具有取出和放入所述被處理體的開口部，能夠使所述被處理體處于真空狀態(tài)下，在所述負(fù)載鎖定室和所述處理室之間搬送所述被處理體，

開閉所述處理室、所述負(fù)載鎖定室和所述搬送室的至少任一個(gè)的取出和放入所述被處理體的開口部的閘閥，使用權(quán)利要求1～13中任一項(xiàng)所述的閘閥。