[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體等離子體頻率測(cè)量方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210216218.1
• 申請(qǐng)日: 2012-06-28
• 公開（公告）號(hào): CN102721670A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊濤;黃維;蔡祥寶;李興鰲;劉輝;何浩培;周馨慧;王建云
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京郵電大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N21/55
• 分類號(hào): G01N21/55
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 楊楠

1.一種半導(dǎo)體等離子體頻率測(cè)量方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1、將兩個(gè)金屬刀片：第一刀片和第二刀片，平行設(shè)置于待測(cè)半導(dǎo)體表面上方，兩個(gè)刀片的刀身垂直于半導(dǎo)體表面且刃口向下；初始時(shí)，設(shè)置兩個(gè)刀片間的距離為2厘米，刀片刃口與待測(cè)半導(dǎo)體表面的距離大于0小于等于500微米；由第一刀片的外側(cè)向第一刀片的刃口與待測(cè)半導(dǎo)體表面之間的狹縫處發(fā)射寬頻電磁波；在第二刀片的刀口外側(cè)放置一個(gè)光譜分析裝置；

步驟2、檢查光譜分析裝置是否能收到信號(hào)，如果沒有任何信號(hào)被接收到，則逐步減小所發(fā)射寬頻電磁波的最小頻率，直至光譜分析裝置可以接收到電磁波信號(hào)；

步驟3、如在步驟2的操作過程中，光譜分析裝置始終不能收到信號(hào)，則逐步減小兩個(gè)刀片間的距離，并重復(fù)步驟2，直至光譜分析裝置可以接收到電磁波信號(hào)；

步驟4、微調(diào)兩個(gè)刀片刃口與待測(cè)半導(dǎo)體表面的距離、入射電磁波的入射角度、光譜分析裝置接收出射電磁波的角度，使得光譜分析裝置接收到信號(hào)的幅度達(dá)到最大；

步驟5、逐步減小兩個(gè)刀片之間的距離，直至光譜分析裝置剛好不能接收到入射寬頻電磁波的全部頻率信號(hào)，記錄下此時(shí)光譜分析裝置所能探測(cè)到的最大頻率值；將該最大頻率值乘以???????????????????????????????????????????????，即為待測(cè)半導(dǎo)體的等離子體頻率。

2.如權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體等離子體頻率測(cè)量方法，其特征在于，在步驟5之后還包括：

步驟6、調(diào)整待測(cè)半導(dǎo)體的溫度并重復(fù)步驟1至步驟5，得到待測(cè)半導(dǎo)體在不同溫度下的等離子體頻率。

3.如權(quán)利要求1或2所述半導(dǎo)體等離子體頻率測(cè)量方法，其特征在于，整個(gè)測(cè)量過程在真空或充氮?dú)獾沫h(huán)境中進(jìn)行。