[發明專利]用于試樣的圖像顯示方法及其光學顯微設備

有效

• 申請號: 201210212564.2
• 申請日: 2012-06-21
• 公開（公告）號: CN102841079B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發明（設計）人: J·弗林格
• 申請（專利權）人: 徠卡顯微系統復合顯微鏡有限公司
• 主分類號: G01N21/64
• 分類號: G01N21/64;G02B21/36
• 代理公司: 北京泛華偉業知識產權代理有限公司11280
• 代理人: 王勇,王博

1.一種應用光學顯微設備(100)以用于試樣(16)圖像顯示的方法，所述光學顯微設備包括成像光學系統(40)和圖像傳感器(28)，所述方法包括下列步驟：

通過借助于成像光學系統(40)對試樣(16)的連續成像，在圖像傳感器(28)上攝取單一圖像的序列，

其中對每個單一圖像的攝取均為試樣(16)提供標記物結構，在所述標記物結構中，各標記物可借助于成像光學系統(40)以空間上可相互分開的光分布(82)形式在圖像傳感器(28)上成像，

確定該光分布(82)的重心位置(84、86、88)，所述重心位置在各單一圖像中顯示所成像的標記物，和

將確定的重心位置(84、86、88)重疊成試樣(16)的全圖，

其特征在于，

在攝取單一圖像序列期間測量引起圖像偏移的溫度數值(△T₁、△T₂、…,△Tn)，

按預定的分配數據(400)將溫度相關的偏移數值(△X₁、△X₂、…,△Xn；△Y₁、△Y₂、…,△Yn)分配給引起圖像偏移的溫度數值(△T₁、△T₂、…,△Tn)，并且

按偏移數值(△X₁、△X₂、…,△Xn；△Y₁、△Y₂、…,△Yn)校正所確定的重心位置(84、86、88)。

2.根據權利要求1的方法，其特征在于，由實驗確定所述分配數據(400)，并存儲在光學顯微設備(100)中。

3.根據權利要求2的方法，其特征在于，

提供具有至少一個參比標記物的參比結構，用于確定分配數據(400)，

將引起圖像偏移的溫度數值設置為多個參比溫度值，

為每個參比溫度值攝取該參比結構的參比單一圖像，其中，借助于成像光學系統以參比光分布形式使該參比結構的參比標記物在圖像傳感器上成像，

為每個參比溫度值確定其所屬的參比光分布的參比重心位置，

由參比重心位置依賴于參比溫度值的變比來確定與溫度相關的偏移數值。

4.根據上述權利要求中任意一項的方法，其特征在于，測量該光學顯微設備(100)的至少一個構件(12、14、42)的溫度作為引起圖像偏移的溫度數值(△T1、△T2、…、△Tn)。

5.根據權利要求4的方法，其特征在于，對在載物臺(14)內部或其表面上的溫度，和/或在為成像光學透鏡(40)提供的固定件設備(42)內部或其表面上的溫度，和/或在其上放置載物臺(14)的支架(12)內部或其表面上的溫度進行測量。

6.根據上述權利要求中任一項的方法，其特征在于，將該測得的溫度數值(△T₁、△T₂、…,△Tn)轉換成惰性補償值，并按轉換過的溫度數值確定偏移數值(△X₁、△X₂、…,△Xn；△Y₁、△Y₂、…,△Yn)。

7.根據權利要求6的方法，其特征在于，依據變化速率對所述惰性補償值進行調整，該測得的溫度數值(△T₁、△T₂、…,△Tn)以所述變化速率隨時間發生變化。