[發(fā)明專利]量子級聯(lián)激光器脊形腐蝕輔助檢測裝置及方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210211816.X | 申請日： | 2012-06-21 |
| 公開（公告）號： | CN102735157A | 公開（公告）日： | 2012-10-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 梁平;胡穎;劉俊岐;劉峰奇;王利軍;張錦川 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 |
| 主分類號： | G01B7/26 | 分類號： | G01B7/26 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100083 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 量子 級聯(lián) 激光器 腐蝕 輔助 檢測 裝置 方法 | ||
1.一種量子級聯(lián)激光器脊形腐蝕輔助檢測裝置，其特征在于，該裝置包括：
一支撐板(1)；
一歐姆表(2)；
兩條連接導(dǎo)線(3)，該兩條連接導(dǎo)線(3)分別連接在歐姆表(2)的兩個接口；
四個固定孔(4)，該四個固定孔(4)開在在支撐板(1)上，并排成一行；
兩個固定支架(5)，該兩個固定支架通過四個固定孔(4)固定在支撐板(1)上；
兩個探針(6)，該兩個探針(6)通過尾部的螺旋孔分別固定在兩個固定銅支架(5)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的量子級聯(lián)激光器脊形腐蝕輔助檢測裝置，其特征在于，所述支撐板(1)采用有機玻璃材料。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的量子級聯(lián)激光器脊形腐蝕輔助檢測裝置，其特征在于，所述固定支架(5)采用3mm銅絲材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的量子級聯(lián)激光器脊形腐蝕輔助檢測裝置，其特征在于，所述探針(6)采用細鎢絲材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的量子級聯(lián)激光器脊形腐蝕輔助檢測裝置，其特征在于，所述探針(6)帶有直徑20μm的針尖(7)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的量子級聯(lián)激光器脊形腐蝕輔助檢測裝置，其特征在于，所述探針(6)的針尖(7)采用電化學(xué)腐蝕法得到。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的量子級聯(lián)激光器脊形腐蝕輔助檢測裝置，其特征在于，所述探針(6)的針尖(7)的電化學(xué)腐蝕采用稀NaOH水溶液，或者采用日常交流電通過變壓器將電壓降低后加在要腐蝕的探針和另一片銅電極上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的量子級聯(lián)激光器脊形腐蝕輔助檢測裝置，其特征在于，所述探針(6)尾部形成螺旋孔固定于固定支架(5)上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的量子級聯(lián)激光器脊形腐蝕輔助檢測裝置，其特征在于，所述兩個探針(6)通過所述兩條連接導(dǎo)線(3)與所述歐姆表(2)的兩個接口連接。
10.一種量子級聯(lián)激光器脊形腐蝕輔助檢測的方法，應(yīng)用于權(quán)利要求1至9中任一項所述的裝置，其特征在于，該方法是利用通過連接導(dǎo)線分別連接于歐姆表兩極的兩個探針來測量太赫茲量子級聯(lián)激光器脊形兩側(cè)溝面電阻，在所述太赫茲量子級聯(lián)激光器脊形兩側(cè)溝面電阻突然變小時，就腐蝕到了需要的深度，進而確定腐蝕深度。
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