[發明專利]一種基于噴砂的AAQFN框架產品扁平封裝件制作工藝

在審

• 申請號: 201210197186.5
• 申請日: 2012-06-15
• 公開（公告）號: CN102738010A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 羅育光;郭小偉;崔夢;劉建軍;劉衛東
• 申請（專利權）人: 華天科技(西安)有限公司
• 主分類號: H01L21/50
• 分類號: H01L21/50;H01L21/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于噴砂的AAQFN框架產品扁平封裝件制作工藝，其特征在于：先在框架上用腐蝕的方法形成凹槽，再用先噴砂后刷綠漆的方法填充，具體制作工藝按照如下步驟進行：

第一步、晶圓減薄；晶圓減薄厚度為50μm～200μm，粗糙度Ra?0.10um～0.30um；

第二步、劃片；

第三步、采用粘片膠上芯；

第四步、壓焊；

第五步、采用傳統塑封料進行一次塑封；

第六步、后固化；

第七部、框架背面蝕刻凹槽；用三氯化鐵溶液在框架背面做局部開窗半蝕刻，形成凹槽，深度控制在框架厚度的一半以內；

第八步、噴砂、刷綠漆；

第九步、后固化、磨膠、錫化、打印、產品分離、檢驗、包裝、入庫。

2.根據權利要求1所述的一種基于噴砂的AAQFN框架產品扁平封裝件制作工藝，其特征在于：所述的方法中的第二步中150μm以上的晶圓采用普通QFN劃片工藝；厚度在150μm以下晶圓，采用雙刀劃片機及其工藝。

3.根據權利要求1所述的一種基于噴砂的AAQFN框架產品扁平封裝件制作工藝，其特征在于：所述的方法中的第三步中上芯時采用的粘片膠用膠膜片(DAF)替換。

4.根據權利要求1所述的一種基于噴砂的AAQFN框架產品扁平封裝件制作工藝，其特征在于：所述的方法中的第四步、第六步、第九步均與常規AAQFN制作工藝相同。