[發明專利]一種平面三自由度晶圓傳輸裝置

無效

• 申請號: 201210192080.6
• 申請日: 2012-06-11
• 公開（公告）號: CN102709221A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 楊開明;朱煜;李鑫;汪勁松;穆海華;尹文生;胡金春;張鳴;徐登峰;崔樂卿;余東東
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 邸更巖

1.一種平面三自由度晶圓傳輸裝置，其特征在于：該晶圓傳輸裝置包括基座（100）、三個機械臂、三個電機、六條鋼帶、十二個帶輪、三個實心軸和一個套筒軸；

第一實心軸（231）與套筒軸（234）同軸安裝，相互之間可以轉動；第一實心軸（231）、第二實心軸（232）與第三實心軸（233）軸線相互平行安裝；

第一機械臂（101）與第二機械臂（102）分別通過軸承與第二實心軸（232）連接，第二機械臂（102）與第三機械臂（103）分別通過軸承與第三實心軸（233）連接；

第一帶輪（221）固定在第一電機（201）的輸出軸上，第三帶輪（223）固定在第二電機（202）的輸出軸上，第七帶輪（227）固定在第三電機（203）的輸出軸上；第四帶輪（224）與第五帶輪（225）分別固定在第一實心軸（231）的兩端，第十帶輪（2210）與第十一帶輪（2211）分別固定在第二實心軸（232）的兩端，第十二帶輪（2212）固定在第三實心軸（233）上，第八帶輪（228）與第九帶輪（229）分別固定在套筒軸（234）的兩端；第二帶輪（222）固定在第一機械臂（101）上，第六帶輪（226）固定在第二機械臂（102）上；第一電機（201）、第二電機（202）和第三電機（203）固定在基座（100）上；

第一帶輪（221）和第二帶輪（222）通過第一鋼帶（211）連接，第三帶輪（223）和第四帶輪（224）通過第二鋼帶（212）連接，第五帶輪（225）和第六帶輪（226）通過第三鋼帶（213）連接，第七帶輪（227）和第八帶輪（228）通過第四鋼帶（214）連接，第九帶輪（229）和第十帶輪（2210）通過第五鋼帶（215）連接，第十一帶輪（2211）和第十二帶輪（2212）通過第六鋼帶（216）連接。