[發明專利]靶材的制作方法

有效

• 申請號: 201210179697.4
• 申請日: 2012-05-30
• 公開（公告）號: CN103447535A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;周友平
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號: B22F8/00
• 分類號: B22F8/00;C23C14/14;C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種靶材的制作方法，其特征在于，包括：

收集廢棄的靶材；

提供用于制作靶材的粉末原料；

將所述廢棄的靶材及粉末原料放入模具中，然后將所述模具放入真空爐內，所述真空爐內設有壓頭；

對所述真空爐進行抽真空，直至真空爐達到預設真空度；

真空爐達到預設真空度之后，對真空爐進行加熱直至達到預設溫度，利用所述壓頭壓緊廢棄的靶材及粉末原料直至達到預設壓強，所述預設溫度低于靶材的熔點；

保溫保壓一段時間，然后逐漸泄壓、冷卻，取出靶材。

2.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，將所述廢棄的靶材放入模具之前，還包括以下步驟：

打磨所述廢棄的靶材；

利用酸溶液清洗打磨過的廢棄靶材。

3.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，對真空爐進行加熱直至達到預設溫度的步驟包括：

以第一加熱速度將真空爐加熱至第一溫度，進行第一次保溫，第一次保溫時間為第一時間；

進行第一次保溫之后，以第二加熱速度將真空爐加熱至所述預設溫度。

4.根據權利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述第一加熱速度大于所述第二加熱速度。

5.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，對真空爐進行加熱直至達到預設溫度，利用所述壓頭壓緊廢棄的靶材及粉末原料直至達到預設壓強的步驟包括：

使所述壓頭加壓至第一壓力，然后，以第一加熱速度將真空爐加熱至第一溫度，進行第一次保溫，第一次保溫時間為第一時間；

進行第一次保溫之后，以第二加熱速度將真空爐加熱至所述預設溫度，同時使所述壓頭加壓至第二壓力并始終保持在第二壓力，所述第二壓力大于所述第一壓力；

進行第二次保溫，第二次保溫時間為第二時間，在進行第二次保溫的過程中使所述壓頭始終保持在所述第二壓力；

進行第二次保溫之后，使所述壓頭加壓直至達到所述預設壓強。

6.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述廢棄的靶材為鎢鈦靶材，所述粉末原料為鎢粉與鈦粉的混合粉末，所述預設真空度小于100Pa，所述預設溫度為1500℃~2000℃，所述預設壓強為30Mpa~60Mpa，所述保溫保壓的時間為30min~180min。

7.根據權利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述廢棄的靶材為鎢鈦靶材，所述粉末原料為鎢粉與鈦粉的混合粉末，所述預設真空度小于100Pa，所述預設溫度為1500℃~2000℃，所述預設壓強為30Mpa~60Mpa，所述保溫保壓的時間為30min~180min，第一加熱速度為10℃/min，所述第一溫度為500℃~1300℃，所述第一時間為30min~180min，所述第二加熱速度為5℃/min。

8.根據權利要求5所述的制作方法，其特征在于，所述廢棄的靶材為鎢鈦靶材，所述粉末原料為鎢粉與鈦粉的混合粉末，所述預設真空度小于100Pa，所述預設溫度為1500℃~2000℃，所述預設壓強為30Mpa~60Mpa，所述保溫保壓的時間為30min~180min，所述第一壓力為2噸~50噸，所述第一加熱速度為10℃/min，所述第一溫度為500℃~1300℃，所述第一時間為30min~180min，所述第二加熱速度為5℃/min，所述第二壓力為2噸~50噸，所述第二時間為20min~180min。

9.根據權利要求8所述的制作方法，其特征在于，進行第二次保溫之后，所述壓頭的加壓速度為1噸/min~20噸/min。

10.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，冷卻至200℃以下時取出靶材。