[發明專利]板、換能器以及用于制造和操作換能器的方法

有效

• 申請號: 201210178041.0
• 申請日: 2012-06-01
• 公開（公告）號: CN102811413A
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發明（設計）人: A.德赫
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: H04R31/00
• 分類號: H04R31/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 馬永利;李浩

1.?一種板，包括：

包括第一應力的第一材料層；

布置在第一材料層下面的第二材料層，第二材料層包括第二應力；

布置在第一材料層和第二材料層中的開口；以及

形成所述開口的延伸部分，其中所述延伸部分包括第一材料層的部分和第二材料層的部分，以及其中所述延伸部分基于第一應力和第二應力的差而遠離所述板的頂面彎曲。

2.?根據權利要求1所述的板，其中，所述延伸部分處于其平衡位置。

3.?根據權利要求1所述的板，其中，第一材料層包括比第二材料層高的壓應力。

4.?根據權利要求1所述的板，其中，第一材料層包括比第二材料層低的拉應力。

5.?根據權利要求1所述的板，其中，所述延伸部分包括懸臂。

6.?根據權利要求1所述的板，其中，所述延伸部分包括多個延伸部分。

7.?根據權利要求1所述的板，其中，第一材料層包括導電材料層，并且其中第二材料層包括絕緣材料層，或者其中第一材料層包括所述絕緣材料層，并且其中第二材料層包括所述導電材料層。

8.?一種換能器，包括：

膜；

包括開口的背板，所述開口包括凸起部分，其中所述凸起部分朝著所述膜彎曲；以及

所述膜和所述背板之間的墊片。

9.?根據權利要求8所述的換能器，其中，所述開口的所述凸起部分包括所述背板的延伸部分。

10.?根據權利要求8所述的換能器，其中，所述凸起部分處于其平衡位置。

11.?根據權利要求8所述的換能器，其中，所述凸起部分在被所述膜觸及時被移動離開其平衡位置。

12.?根據權利要求8所述的換能器，其中，所述背板包括導電材料層和絕緣材料層，其中所述膜包括導電材料層，并且其中所述絕緣材料層被布置在所述背板的導電材料層和所述膜的導電層之間。

13.?根據權利要求12所述的換能器，其中，所述導電材料層包括比所述絕緣材料層低的拉應力。

14.?根據權利要求12所述的換能器，其中，所述導電材料層包括比所述絕緣材料層高的壓應力。

15.?一種用于操作換能器的方法，所述方法包括：

在膜處接收聲波；

朝著背板移動所述膜，其中所述背板包括開口，其中延伸部分形成所述開口，以及其中所述延伸部分朝著所述膜彎曲；以及

響應于移動的膜而生成信號。

16.?根據權利要求15所述的方法，其中，所述延伸部分包括在沒有被所述膜觸及的情況下的平衡位置，以及其中所述延伸部分在被所述膜觸及的情況下被移動離開其平衡位置。

17.?根據權利要求15所述的方法，其中，朝著背板移動所述膜包括將所述延伸部分的尖端推入所述開口中。

18.?一種用于制造換能器的方法，所述方法包括：

在襯底中形成膜；

形成包括第一材料層和第二材料層的背板，第一材料層包括與第二材料層不同的應力；以及

在所述背板中形成開口，所述開口包括延伸到所述開口中的延伸部分，其中形成開口包括：

??????使用第一蝕刻過程來在第一材料層中蝕刻開口；以及

??????使用第二蝕刻過程來在第二材料層中蝕刻開口。

19.?根據權利要求18所述的方法，還包括：因為第一材料層和第二材料層的不同應力而使所述延伸部分彎曲。

20.?根據權利要求18所述的方法，還包括：在形成所述開口之后移除所述膜和所述背板之間的犧牲層。

21.?根據權利要求20所述的方法，其中，移除所述犧牲層包括濕化學蝕刻或干蝕刻所述犧牲層。