[發明專利]薄膜太陽能電池的制造方法及其制造設備

有效

• 申請號: 201210173508.2
• 申請日: 2012-05-30
• 公開（公告）號: CN103456830A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 游明輝;陳阿賜;梁望遵;高家榮;張量然;李威錚
• 申請（專利權）人: 臺技工業設備股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 趙根喜;馮志云

1.一種薄膜太陽能電池的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供一基板；

將該基板置入一擴散爐內，于該擴散爐內通入第一硒化氣體；

進行多階段式加熱升溫，升溫至第一預定溫度之后持溫第一預定時間；

抽出該第一硒化氣體，之后進行升溫；

通入第二硒化氣體于該擴散爐內；

在第二預定溫度持溫第二預定時間；以及

進行降溫且在降溫過程中抽出該第二硒化氣體。

2.如權利要求1所述的薄膜太陽能電池的制造方法，其特征在于，該基板的材質為鍍鉬的鈉玻璃、鍍鉬的陶瓷基材、鍍鉬的高分子基材或鍍鉬的金屬基材。

3.如權利要求1所述的薄膜太陽能電池的制造方法，其特征在于，該第一硒化氣體含H₂Se的濃度大于該第二硒化氣體含H₂Se的濃度。

4.如權利要求1所述的薄膜太陽能電池的制造方法，其特征在于，該第一硒化氣體為含有介于3%至20%的H₂Se的惰性氣體，該第二硒化氣體為含有介于0%至20%的H₂Se的惰性氣體。

5.如權利要求1所述的薄膜太陽能電池的制造方法，其特征在于，該第一預定溫度范圍介于400至500℃之間，該第二預定溫度范圍介于500至600℃之間。

6.如權利要求1所述的薄膜太陽能電池的制造方法，其特征在于，該第一預定時間范圍介于20至40分鐘之間，該第二預定時間范圍介于3至30分鐘之間。

7.一種薄膜太陽能電池的制造設備，其特征在于，包括：

一擴散爐，其包括：

一外爐膛；

一內爐膛，其設置于該外爐膛內，該內爐膛內部形成有一爐腔；以及

多個紅外線加熱器，其設置于該外爐膛上，所述多個紅外線加熱器各具有加熱段及連接于該加熱段的固定段，所述多個紅外線加

熱器的加熱段位于該外爐膛內，所述多個紅外線加熱器的固定段固定于該外爐膛外；

一冷卻單元，其設置于該擴散爐中，該冷卻單元具有至少一冷卻管路；

一氣體控制單元，其與該爐腔內部達成互相通連，該氣體控制單元具有至少一氣體管路及一氣體系統；以及

一控制接口單元，電性連接該擴散爐、冷卻單元及氣體控制單元，該控制接口單元用以控制該擴散爐、該冷卻單元及該氣體控制單元。

8.如權利要求7所述的薄膜太陽能電池的制造設備，其特征在于，該紅外線加熱器彎折成U型，且該紅外線加熱器具有一加熱段及連接于該加熱段兩端的兩固定段。

9.如權利要求7所述的薄膜太陽能電池的制造設備，其特征在于，該內爐膛至少一端形成有開口，該開口配置有一金屬領圈，該氣體管路連接于該金屬領圈。

10.如權利要求7所述的薄膜太陽能電池的制造設備，其特征在于，所述多個紅外線加熱器分別以電熱絲設于石英管內所構成，該電熱絲連接有電線。

11.如權利要求7所述的薄膜太陽能電池的制造設備，其特征在于，所述多個紅外線加熱器區分為多個加熱組，所述多個加熱組分別電性連接于一功率分配卡，所述多個加熱組設有控溫點，所述功率分配卡電性連接于該控制接口單元，以電動控制方式動態的調整所述多個加熱組的功率分配。

12.如權利要求7所述的薄膜太陽能電池的制造設備，其特征在于，該冷卻單元還包括一鼓風機，該鼓風機設置于該外爐膛內，以加速冷卻該擴散爐內部的溫度。

13.如權利要求7所述的薄膜太陽能電池的制造設備，其特征在于，該薄膜太陽能電池的制造設備還包括設置一警報單元，該警報單元位于該擴散爐內部，用以檢測溫度、毒氣及壓力。

14.如權利要求7所述的薄膜太陽能電池的制造設備，其特征在于，該氣體控制單元還包括設置一冷凝器，其連接于該氣體管路，該冷凝器用以收集及處理反應之后的殘氣。