[發明專利]基于雙旋轉微鏡的光學掃描探針有效
| 申請號： | 201210167500.5 | 申請日： | 2012-05-28 |
| 公開（公告）號： | CN102670179A | 公開（公告）日： | 2012-09-19 |
| 發明（設計）人： | 徐英舜 | 申請（專利權）人： | 凝輝(天津)科技有限責任公司 |
| 主分類號： | A61B5/00 | 分類號： | A61B5/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 300384 天津市高新區華*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 旋轉 光學 掃描 探針 | ||
1.一種基于雙旋轉微鏡的光學掃描探針，其特征在于：包括雙旋轉微鏡，微光學系統和硅光學平臺，其中雙旋轉微鏡包括微驅動器、平面彈簧、環形鏡片和圓形鏡片；微驅動器的輸出端與平面彈簧的輸入端相連，平面彈簧的輸出端分別與環形鏡片和圓形鏡片的輸入端相連；每個器件包括1個環形鏡片、1個圓形鏡片、8個平面彈簧和8個微驅動器，環形鏡片和圓形鏡片各與4個平面彈簧相連，每個平面彈簧與1個微驅動器相連；微光學系統包括自聚焦透鏡和單模光纖；硅光學平臺用于校準和固定微光學系統，并為雙旋轉微鏡提供電氣連接。
2.如權利要求1所述的一種基于雙旋轉微鏡的光學掃描探針，其特征在于：所述的微驅動器采用微加工技術制成，基于電熱驅動原理，由多層材料，如硅，二氧化硅，金屬，金屬氧化物等組成。
3.如權利要求1所述的一種基于雙旋轉微鏡的光學掃描探針，其特征在于：所述的環形鏡片和圓形鏡片的機械偏轉角度均為(0-45)度。
4.如權利要求1所述的一種基于雙旋轉微鏡的光學掃描探針，其特征在于：所述的平面彈簧采用微加工技術制成，由多層材料，如硅，二氧化硅等組成。
5.如權利要求1所述的一種基于雙旋轉微鏡的光學掃描探針，其特征在于：所述的環形鏡片為環形，采用微加工技術制成，由多層材料，如硅，二氧化硅，金屬，金屬氧化物等組成，一面鍍有高反射率鍍層。
6.如權利要求1所述的一種基于雙旋轉微鏡的光學掃描探針，其特征在于：所述的圓形鏡片為圓形，采用微加工技術制成，由多層材料，如硅，二氧化硅，金屬，金屬氧化物等組成，與環形鏡片反光面相對的表面鍍有高反射率鍍層。
7.如權利要求1所述的一種基于雙旋轉微鏡的光學掃描探針，其特征在于：所述的微光學系統包括自聚焦透鏡和單模光纖，兩者之間采用光學樹膠連接。
8.如權利要求1所述的一種基于雙旋轉微鏡的光學掃描探針，其特征在于：所述的硅光學平臺采用微加工技術制成，表面刻有V型槽，表面有金屬線為一端的雙旋轉微鏡和另一端的外部電子驅動信號接口之間建立電氣連接。?
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