[發明專利]加速度傳感器以及加速度檢測裝置

無效

• 申請號: 201210162807.6
• 申請日: 2012-05-23
• 公開（公告）號: CN102798732A
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發明（設計）人: 渡邊潤;中仙道和之;龜田高弘
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/09
• 分類號: G01P15/09;G01P21/00
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;孫麗梅

1.一種加速度傳感器，其特征在于，包括：

支承基板，其具備：固定用的第一基板片，所述第一基板片具有第一支承面；可動用的第二基板片，所述第二基板片與所述第一基板片并排配置，并具有第二支承面，且沿著與所述并排方向正交的方向的寬度大于沿著所述并排方向的寬度；鉸鏈部，所述鉸鏈部位于所述第一基板片和所述第二基板片之間且被連接于所述第一基板片和所述第二基板片上；

加速度檢測元件，其具備：加速度檢測部，所述加速度檢測部沿著所述正交的方向而延伸，且具有在俯視觀察時與所述鉸鏈部重疊的中心部；第一被固定部以及第二被固定部，所述第一被固定部以及所述第二被固定部分別被固定在所述第一支承面以及所述第二支承面上；梁，所述梁被連結于所述第一被固定部以及所述第二被固定部上，并對所述加速度檢測部進行支承。

2.如權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于，

在所述第二基板片的所述第二支承面以及所述第二支承面的相反側的面中的至少一面上，配置有質量部。

3.如權利要求1或權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于，

所述梁具備：第一梁，其對在俯視觀察時，所述加速度檢測部中的位于所述正交的方向上的一端部與所述第一被固定部進行連結；第二梁，其對所述加速度檢測部中的位于所述正交的方向上的另一端部與所述第一被固定部進行連結；第三梁，其對所述一端部與所述第二被固定部進行連結；第四梁，其對所述另一端部與所述第二被固定部進行連結。

4.如權利要求1或權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于，

所述第一基板片、所述第二基板片和所述鉸鏈部以一體的方式被形成，并且所述第一基板片的所述第一支承面與所述第二基板片的所述第二支承面位于同一平面上。

5.如權利要求1或權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于，

在俯視觀察時，所述加速度檢測部的沿著所述正交的方向的中心線與所述鉸鏈部的沿著所述正交的方向的中心線重疊。

6.如權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于，

所述第一梁至所述第四梁均為直線狀，并且在所述第一被固定部處所述第一梁與所述第二梁之間所形成的角度、以及在所述第二被固定部處所述第三梁與所述第四梁之間所形成的角度分別為鈍角。

7.如權利要求2或權利要求6所述的加速度傳感器，其特征在于，

所述第一梁至所述第四梁均為由單一或多個圓弧組合而成的圓弧狀，并且所述第一梁與所述第二梁、以及所述第三梁與所述第四梁分別被連結成半圓狀或半橢圓狀。

8.如權利要求2或權利要求6所述的加速度傳感器，其特征在于，

具備如下的結構，即，所述第一被固定部的至少一部分，在俯視觀察時從所述第一梁與所述第二梁的交叉部朝向遠離所述加速度檢測部的方向而突出，并且所述第二被固定部的至少一部分，在俯視觀察時從所述第三梁與所述第四梁的交叉部朝向遠離所述加速度檢測部的方向而突出。

9.如權利要求1或權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于，

所述加速度檢測部具備：沿著所述正交的方向而延伸的至少一個以上的振動梁；被連接于該振動梁的兩端的一對基部。

10.一種加速度檢測裝置，其特征在于，具備：

權利要求1或權利要求2所述的加速度傳感器；

振蕩電路，其對所述加速度傳感器的加速度檢測元件進行激勵；

計數器，其對所述振蕩電路的輸出頻率進行計數；

集成電路，其具有對所述計數器的信號進行處理的運算電路。