[發明專利]一種氧化鋅納米發電機及其制造方法無效
| 申請號： | 201210162652.6 | 申請日： | 2012-05-23 |
| 公開（公告）號： | CN102709464A | 公開（公告）日： | 2012-10-03 |
| 發明（設計）人： | 王中林;江鵬;于愛芳 | 申請（專利權）人： | 國家納米科學中心 |
| 主分類號： | H01L41/113 | 分類號： | H01L41/113;H01L41/22;H02N2/18;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京泛華偉業知識產權代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 100190 北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氧化鋅 納米 發電機 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種氧化鋅納米發電機的制造方法，包括：
1）在襯底上鍍一層鈦層；
2）再鍍一層金層；
3）將襯底漂浮在六水合硝酸鋅和六次甲基四胺的水溶液的面，并使鍍金的一面向下，在加熱的條件下生長，得到氧化鋅納米線層；
4）在氧化鋅納米線層上旋涂PMMA層，其中PMMA將氧化鋅納米線包裹在其中，并露出氧化鋅納米線的端部，然后固化PMMA；
5）鍍一層金層；
6）再鍍一層鈦層。
2.根據權利要求1所述的方法，其中在執行步驟5）之前還包括步驟4’)：在氧化鋅納米線層上鍍一層鈦層，然后重復上述步驟2）、3）和4），所述步驟4’)可執行一次或重復多次，額外再得到一層或多層氧化鋅納米線層。
3.根據權利要求1所述的方法，其中所述金層的厚度在50-100nm之間。
4.根據權利要求1所述的方法，其中所述鈦層的厚度在50-150nm之間。
5.根據權利要求1所述的方法，其中所述六水合硝酸鋅的摩爾濃度與六次甲基四胺的摩爾濃度比為1：1。
6.根據權利要求1所述的方法，其中所述六水合硝酸鋅的濃度為0.01-0.05mol/L，六次甲基四胺的濃度為0.01-0.05mol/L。
7.根據權利要求1所述的方法，其中步驟3）中，生長氧化鋅納米線層時的溫度為75至85℃。
8.一種根據權利要求1所述的制造方法形成的氧化鋅納米發電機。
9.一種根據權利要求2所述的制造方法形成的氧化鋅納米發電機。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于國家納米科學中心，未經國家納米科學中心許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210162652.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種平面三自由度晶圓傳輸裝置
- 下一篇：一種溶膠凝膠法制備鉿銦鋅氧薄膜的方法
