[發明專利]一種多孔硅微米管及其制備方法

無效

• 申請號: 201210161046.2
• 申請日: 2012-05-17
• 公開（公告）號: CN102701135A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 徐少輝;王連衛
• 申請（專利權）人: 華東師范大學
• 主分類號: B81B1/00
• 分類號: B81B1/00;B81C1/00
• 代理公司: 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司 31227
• 代理人: 吳澤群

1.一種多孔硅微米管，其特征在于：結構的主要成分是多孔硅，多孔硅微米管為多孔硅圍成的非封閉圓形管狀結構，其直徑在10-20微米，其長度為100-600微米。

2.根據權利要求1所述的多孔硅微米管，其特征在于：所述的多孔硅微米管為獨立的結構或者在硅基底上。

3.權利要求1所述多孔硅微米管的制備方法，其特征在于：包括如下步驟：

（1）硅基片采用單面拋光的p型硅片，(100)晶面，電阻率為5～10Ω·cm；采用RCA標準清洗工藝；而后在去離子水浸泡5分鐘，氮氣吹干；在非拋光面蒸鋁，在氮氣環境下450℃退火30分鐘，形成良好歐姆接觸；

（2）將質量百分比為48%的濃氫氟酸和體積百分比為99%的乙醇按體積比1∶1混合；腐蝕過程是在黑暗環境中進行；腐蝕的電流密度從82毫安/平方厘米，腐蝕時間從2分鐘；厚度為2.5微米，而多孔度為60%-75%；

（3）多孔硅樣品干燥過程中的自分離和卷曲工藝，干燥過程采用在不同環境中進行樣品干燥處理。

4.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于：所述的干燥處理為直接在空氣中風干、用氮氣份中干燥處理或在乙醇溶液中浸泡清洗處理后用氮氣干燥。

5.如權利要求1所述的多孔硅微米管應用于化學或生物的探測載體。