[發明專利]一種清洗鈍化GaAs襯底表面的方法無效
| 申請號： | 201210159230.3 | 申請日： | 2012-05-22 |
| 公開（公告）號： | CN102671894A | 公開（公告）日： | 2012-09-19 |
| 發明（設計）人： | 付盈盈;李愛東;曹燕強;李學飛;吳迪 | 申請（專利權）人： | 南京大學 |
| 主分類號： | B08B7/04 | 分類號： | B08B7/04;B08B3/08;H01L21/02 |
| 代理公司： | 江蘇圣典律師事務所 32237 | 代理人： | 賀翔 |
| 地址： | 210000*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 清洗 鈍化 gaas 襯底 表面 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種清洗鈍化GaAs襯底表面的方法，其特征在于包括以下步驟：首先將GaAs襯底用有機溶液處理，除去表面的油污；然后用氫溴酸溶液浸泡GaAs襯底，除去表面的氧化層；接著放入加熱到50℃的(NH4)2S溶液中浸泡20－30分鐘進行鈍化；最后將鈍化后的GaAs襯底用去離子水沖洗表面并用高純氮氣吹干。
2.根據權利要求1所述的清洗鈍化GaAs襯底表面的方法，其特征在于，所述有機溶液處理過程為：依次用丙酮、甲醇、異丙醇溶劑超聲清洗5分鐘。
3.根據權利要求1所述的清洗鈍化GaAs襯底表面的方法，其特征在于，所述氫溴酸溶液按體積比為HBr：H2O?=?1:10，浸泡時間為3－5分鐘。
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