[發(fā)明專利]層疊型壓電元件及使用其的噴射裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210155477.8 | 申請日： | 2006-06-15 |
| 公開（公告）號： | CN102651448A | 公開（公告）日： | 2012-08-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 岡村健;寺園正喜;川元智裕;鶴丸尚文;中村成信;山元堅 | 申請（專利權(quán)）人： | 京瓷株式會社 |
| 主分類號： | H01L41/083 | 分類號： | H01L41/083;H01L41/047 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 蔣亭 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 層疊 壓電 元件 使用 噴射 裝置 | ||
1.一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，多個所述金屬層包括多個厚度比在層疊方向上相鄰的兩側(cè)的金屬層薄的薄型金屬層。
2.如權(quán)利要求1所述的層疊型壓電元件，其中，多個所述薄型金屬層夾著多層厚度比該薄型金屬層厚的其它金屬層而分別配置。
3.如權(quán)利要求1所述的層疊型壓電元件，其中，在層疊方向上規(guī)則地配置有多個所述薄型金屬層。
4.如權(quán)利要求1所述的層疊型壓電元件，其中，多個所述金屬層包括多個厚度比在層疊方向上相鄰的兩側(cè)的金屬層厚的厚型金屬層。
5.一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，多個所述金屬層包括多個厚度比在層疊方向上相鄰的兩側(cè)的金屬層厚的厚型金屬層。
6.如權(quán)利要求5所述的層疊型壓電元件，其中，多個所述厚型金屬層夾著多個厚度比該厚型金屬層薄的其它金屬層而分別配置。
7.如權(quán)利要求5所述的層疊型壓電元件，其中，在層疊方向上規(guī)則地配置有多個所述厚型金屬層。
8.如權(quán)利要求5所述的層疊型壓電元件，其中，多個所述金屬層包括多個厚度比在層疊方向上相鄰的兩側(cè)的金屬層薄的薄型金屬層。
9.如權(quán)利要求4或者8所述的層疊型壓電元件，其中，相對于所述薄型金屬層在層疊方向上相鄰的金屬層為所述厚型金屬層。
10.如權(quán)利要求4或者8所述的層疊型壓電元件，其中，相對于所述薄型金屬層在層疊方向上相鄰的兩側(cè)的金屬層為所述厚型金屬層。
11.如權(quán)利要求4～8中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，在比較多個所述金屬層的厚度時，在所述厚型金屬層的厚度上具有峰值，并且從該厚型金屬層起在層疊方向上兩層以上的金屬層，具有厚度逐漸減少的傾斜區(qū)域。
12.如權(quán)利要求1～4、8中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，所述薄型金屬層由在隔著間隙相互隔開的狀態(tài)下配置的多個局部金屬層構(gòu)成。
13.如權(quán)利要求1～8中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，在多個所述金屬層中，將厚度比在層疊方向相鄰的兩側(cè)的金屬層薄的金屬層作為薄型金屬層，將厚度比在層疊方向相鄰的兩側(cè)的金屬層厚的金屬層作為厚型金屬層，將除去所述薄型金屬層及厚型金屬層之外的其它金屬層的厚度定為X2，將所述薄型金屬層的厚度定為Y2，此時的厚度之比Y2/X2在0.1～0.9的范圍內(nèi)。
14.如權(quán)利要求1～8中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，在多個所述金屬層中，將厚度比在層疊方向相鄰的兩側(cè)的金屬層薄的金屬層作為薄型金屬層，將厚度比在層疊方向相鄰的兩側(cè)的金屬層厚的金屬層作為厚型金屬層，將除去所述薄型金屬層及厚型金屬層之外的其它金屬層的厚度定為X2，將所述厚型金屬層的厚度定為Z2，此時的厚度之比Z2/X2在1.05～2的范圍內(nèi)。
15.一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，在層疊方向的兩端形成有由壓電體構(gòu)成的非活性層，與所述非活性層鄰接的金屬層是該金屬層的厚度比在層疊方向上相鄰的金屬層的厚度薄的薄型金屬層。
16.一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，在層疊方向的兩端形成有由壓電體構(gòu)成的非活性層，與所述非活性層鄰接的金屬層是該金屬層的厚度比在層疊方向上相鄰的金屬層的厚度厚的厚型金屬層。
17.一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和以合金為主成分的金屬層而成，其特征在于，多個所述金屬層包括多個構(gòu)成所述合金的一種成分的比率比在層疊方向上相鄰的兩側(cè)的金屬層高的高比率金屬層。
18.如權(quán)利要求17所述的層疊型壓電元件，其中，多個所述高比率金屬層夾著多層該高比率金屬層之外的其它金屬層而分別配置。
19.如權(quán)利要求17所述的層疊型壓電元件，其中，所述合金為形成全率固溶體的銀合金，所述一種成分為銀。
20.如權(quán)利要求19所述的層疊型壓電元件，其中，所述合金是銀鈀合金。
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