[發(fā)明專利]錳鈦共摻雜氟鎂鍺酸鹽發(fā)光材料、制備方法及其應(yīng)用

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210151202.7
• 申請(qǐng)日: 2012-05-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103421496A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周明杰;王平;陳吉星;梁祿生
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C09K11/66
• 分類號(hào): C09K11/66;H05B33/14
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強(qiáng)

【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及一種錳鈦共摻雜氟鎂鍺酸鹽發(fā)光材料、其制備方法、錳鈦共摻雜氟鎂鍺酸鹽發(fā)光薄膜、其制備方法、薄膜電致發(fā)光器件及其制備方法。

【背景技術(shù)】

薄膜電致發(fā)光顯示器(TFELD)由于其主動(dòng)發(fā)光、全固體化、耐沖擊、反應(yīng)快、視角大、適用溫度寬、工序簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)，已引起了廣泛的關(guān)注，且發(fā)展迅速。目前，研究彩色及至全色TFELD，開(kāi)發(fā)多波段發(fā)光的材料，是該課題的發(fā)展方向。但是，可應(yīng)用于薄膜電致發(fā)光顯示器的錳鈦共摻雜氟鎂鍺酸鹽發(fā)光材料，仍未見(jiàn)報(bào)道。

【發(fā)明內(nèi)容】

基于此，有必要提供一種可應(yīng)用于薄膜電致發(fā)光器件的錳鈦共摻雜氟鎂鍺酸鹽發(fā)光材料、其制備方法、錳鈦共摻雜氟鎂鍺酸鹽發(fā)光薄膜、其制備方法、使用該錳鈦共摻雜氟鎂鍺酸鹽發(fā)光材料的薄膜電致發(fā)光器件及其制備方法。

一種錳鈦共摻雜氟鎂鍺酸鹽發(fā)光材料，其化學(xué)式為aMgO-bMgF₂-cGeO₂:dMn⁴⁺，eTi⁴⁺，其中aMgO-bMgF₂-cGeO₂是基質(zhì)，錳元素和鈦元素是激活元素，且a為1～6，b為0.05～2，c為0.5～3，d為0.01～0.05，e為0.005～0.03。

一種錳鈦共摻雜氟鎂鍺酸鹽發(fā)光材料的制備方法，包括以下步驟：

根據(jù)aMgO-bMgF₂-cGeO₂:dMn⁴⁺，eTi⁴⁺，各元素的化學(xué)計(jì)量比稱取MgO、MgF₂、GeO₂、MnO₂和TiO₂粉體并混合均勻，其中a為1～6，b為0.05～2，c為0.5～3，d為0.01～0.05，e為0.005～0.03；及

將混合均勻的粉體在900℃～1300℃下燒結(jié)0.5小時(shí)～5小時(shí)即得到化學(xué)式為aMgO-bMgF₂-cGeO₂:dMn⁴⁺，eTi⁴⁺的錳鈦共摻雜氟鎂鍺酸鹽發(fā)光材料。

一種錳鈦共摻雜氟鎂鍺酸鹽發(fā)光薄膜，該錳鈦共摻雜氟鎂鍺酸鹽發(fā)光薄膜的材料的化學(xué)通式為aMgO-bMgF₂-cGeO₂:dMn⁴⁺，eTi⁴⁺，其中aMgO-bMgF₂-cGeO₂是基質(zhì)，錳元素和鈦元素是激活元素，且a為1～6，b為0.05～2，c為0.5～3，d為0.01～0.05，e為0.005～0.03。

一種錳鈦共摻雜氟鎂鍺酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，包括以下步驟：

根據(jù)aMgO-bMgF₂-cGeO₂:dMn⁴⁺，eTi⁴⁺各元素的化學(xué)計(jì)量比稱取MgO、MgF₂、GeO₂、MnO₂和TiO₂粉體并混合均勻在900℃～1300℃下燒結(jié)0.5小時(shí)～5小時(shí)制成靶材，其中a為1～6，b為0.05～2，c為0.5～3，d為0.01～0.05，e為0.005～0.03；

將所述靶材以及襯底裝入磁控濺射鍍膜設(shè)備的真空腔體，并將真空腔體的真空度設(shè)置為1.0×10^-3Pa～1.0×10^-5Pa；及

調(diào)整磁控濺射鍍膜工藝參數(shù)為：基靶間距為45mm～95mm，磁控濺射工作壓強(qiáng)0.2Pa～4Pa，工作氣體的流量為10sccm～35sccm，襯底溫度為250℃～750℃，接著進(jìn)行制膜，得到化學(xué)式為aMgO-bMgF₂-cGeO₂:dMn⁴⁺，eTi⁴⁺的錳鈦共摻雜氟鎂鍺酸鹽發(fā)光薄膜。

在優(yōu)選的實(shí)施例中，所述真空腔體的真空度為5.0×10^-4Pa，基靶間距為60mm，磁控濺射工作壓強(qiáng)為2Pa，工作氣體為氧氣，工作氣體的流量為25sccm，襯底溫度為250℃。

在優(yōu)選的實(shí)施例中，該錳鈦共摻雜氟鎂鍺酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法進(jìn)一步包括退火處理，將制得錳鈦共摻雜氟鎂鍺酸鹽發(fā)光薄膜在0.01Pa真空爐中退火1～3h，退火溫度為500℃～800℃。