[發明專利]等離子體監測系統

無效

• 申請號: 201210147714.6
• 申請日: 2012-05-11
• 公開（公告）號: CN102788916A
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發明（設計）人: 李淳鐘;禹奉周;鄭載勛;金學權;姜志澔
• 申請（專利權）人: 塞米西斯科株式會社
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01N21/73;H01J37/32;H01L21/311
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種電弧檢測系統，其特征在于，包括：

觀察口，其與腔室直接結合；

可視光轉換部，其與所述觀察口結合，將所述腔室內因電弧引起而產生的電弧光，的紫外線或紅外線轉換成可視光線；

光纖，其與所述觀察口連接，已轉換的所述可視光線由所述光纖通過；以及

電弧傳感器，其與所述光纖連接，對通過所述光纖傳輸的可視光線進行檢測。

2.根據權利要求1所述的電弧檢測系統，其特征在于，

所述觀察口的一部分形成有孔或凹部，所述可視光轉換部具有圓筒形狀并插入至所述觀察口的孔或者凹部，所述觀察口上形成有接頭，所述光纖則連接于所述接頭。

3.一種結束點和電弧檢測系統，其特征在于，包括：

光譜儀，其與腔室連接；

電弧傳感器，其與腔室連接；以及

檢測和控制模塊，其與所述光譜儀和所述電弧傳感器連接；

其中，所述檢測和控制模塊分析從所述光譜儀傳輸的OES數據而檢測出結束點，分析從所述電弧傳感器傳輸的電弧感知結果而檢測出所述腔室內產生的電弧。

4.根據權利要求3所述的結束點和電弧檢測系統，其特征在于，

所述光譜儀和所述電弧傳感器通過各個光纖分別連接于所述腔室的觀察口。

5.根據權利要求3所述的結束點和電弧檢測系統，其特征在于，所述結束點和電弧檢測系統還包括：

集光鏡，其與所述腔室外側面連接，將所述腔室內產生的光聚集起來；

其中，所述集光鏡將所述聚集的光通過光纖傳輸到所述電弧傳感器，所述電弧傳感器為光電二極管。

6.根據權利要求5所述的結束點和電弧檢測系統，其特征在于，

與所述集光鏡連接的光纖被分配連接于所述光譜儀和所述電弧傳感器，通過所述集光鏡聚集的光輸入到所述光譜儀和所述電弧傳感器。

7.根據權利要求5所述的結束點和電弧檢測系統，其特征在于，

所述腔室設置有多個集光鏡，通過所述集光鏡的光均輸入到所述電弧傳感器。

8.一種結束點和電弧檢測系統，其特征在于，包括：

至少一個集光部，其與腔室結合；

電弧傳感器；以及

光纖，其連接所述集光部和所述電弧傳感器；

其中，所述集光部聚集所述腔室內因電弧引起而產生的電弧光，聚集的所述電弧光通過所述光纖傳輸到所述電弧傳感器，所述電弧傳感器感知傳輸的所述光以電信號輸出。

9.根據權利要求8所述的結束點和電弧檢測系統，其特征在于，所述結束點和電弧檢測系統還包含：

光譜儀，其與所述腔室的觀察口連接；以及

檢測和控制模塊，其與所述電弧傳感器和所述光譜儀連接；

其中，所述檢測和控制模塊分析從所述光譜儀傳輸的OES數據而檢測出結束點，并且分析從所述電弧傳感器傳輸的感知電弧結果而檢測出所述腔室內產生的電弧，所述電弧傳感器為光電二極管。

10.根據權利要求9所述的結束點和電弧檢測系統，其特征在于，

所述光纖從所述集光部延伸并被分配連接于所述電弧傳感器和所述光譜儀。

11.一種電弧檢測系統，其特征在于，包括：

光纖，其與腔室結合；以及

電弧傳感器，其與所述光纖連接；

其中，從所述腔室內因電弧引起而產生的電弧光通過所述光纖傳輸到所述電弧傳感器，所述電弧傳感器則感知所述傳輸的光而以電信號輸出。

12.根據權利要求11所述的電弧檢測系統，其特征在于，所述電弧檢測系統還包括：

集光部；以及

檢測和控制模塊，其與所述電弧傳感器連接；

其中，所述集光部聚集從所述腔室內因電弧引起而產生的電弧光，聚集的所述電弧光傳輸到所述電弧傳感器，所述檢測和控制模塊分析從所述電弧傳感器輸出的電信號而檢測出所述電弧，所述電弧傳感器為光電二極管。

13.根據權利要求12所述的電弧檢測系統，其特征在于，

所述腔室上設置有多個所述集光部，多個所述集光部均連接于所述電弧傳感器。

14.根據權利要求14所述的電弧檢測系統，其特征在于，

所述光纖連接于所述腔室的觀察口。