[發(fā)明專利]多頭搭載劃線裝置及刀片保持器的自動更換系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210144151.5
• 申請日: 2008-05-28
• 公開（公告）號: CN102765873A
• 公開（公告）日: 2012-11-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山本正男;田端淳;西尾仁孝
• 申請（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)株式會社
• 主分類號: C03B33/02
• 分類號: C03B33/02;C03B33/027
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 楊楷

本申請為國際申請日為國際申請?zhí)?PCT/JP2008/001331)、國際申請日(2008年5月28日)、中國申請?zhí)?200880018979.8)、發(fā)明名稱為“多頭搭載劃線裝置及刀片保持器的自動更換系統(tǒng)”的國際申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及能夠在脆性材料基板上同時(shí)形成多個(gè)劃線的多頭搭載劃線裝置，還涉及將搭載在劃線裝置中的刀片(tip)保持器自動更換的刀片保持器自動更換系統(tǒng)。

背景技術(shù)

以往，在液晶顯示面板或液晶投影儀基板等平板顯示器(FPD)等中，在制造過程中將母玻璃基板在貼合后分?jǐn)啵允蛊涑蔀橐?guī)定大小的單個(gè)面板。在母玻璃基板等脆性材料基板的分?jǐn)嘀校袆澗€工序和破裂工序，在劃線工序中使用劃線裝置。在FPD的制造中，將一片母基板劃線，通過破裂加工而取出多個(gè)面板基板。但是，如果母基板的尺寸變大并且面板基板的數(shù)量變多，則為了提高劃線效率而使用搭載有多個(gè)劃線頭的多頭搭載劃線裝置。

圖1是表示以往的多頭搭載劃線裝置的一例的概略立體圖。在多頭搭載劃線裝置100中，移動臺101沿著一對導(dǎo)引軌道102a、102b沿y軸方向移動自如地被保持。滾珠絲杠103與移動臺101擰合。滾珠絲杠103在馬達(dá)104的驅(qū)動下旋轉(zhuǎn)，使移動臺101沿著導(dǎo)引軌道102a、102b沿y軸方向移動。在移動臺101的上面上設(shè)有馬達(dá)105。馬達(dá)105使工作臺106在xy平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，定位為規(guī)定角度。脆性材料基板107被載置在工作臺106上，被未圖示的真空吸引機(jī)構(gòu)等保持。在劃線裝置的上部，設(shè)有將脆性材料基板107的對準(zhǔn)標(biāo)記攝像的兩臺CCD照相機(jī)108。

在劃線裝置100上，沿著x軸方向通過支柱111a、111b架設(shè)有橋110，以使其橫跨移動臺101和其上部的工作臺106。在橋110上，多個(gè)劃線頭112能夠沿著導(dǎo)引部113沿x軸方向移動。各劃線頭112在其內(nèi)部搭載有使其自身分別獨(dú)立地沿著x軸方向移動的驅(qū)動源。此外，也可以代替它而將導(dǎo)引部113與各劃線頭112例如線性驅(qū)動，使各劃線頭112能夠分別獨(dú)立地移動。劃線頭112在其前端部上經(jīng)由保持器接頭120安裝刀片保持器130。

接著，對安裝在劃線頭112上的以往的保持器接頭和刀片保持器進(jìn)行說明。如在圖2中表示分解立體圖那樣，保持器接頭120在上部具有軸承121，下方具有構(gòu)成為L字形的保持器部122。保持器部122在其側(cè)方設(shè)有定位用的銷123。刀片保持器130如圖3、圖4所示，是可旋轉(zhuǎn)地保持圓板狀的輪式刀片(以下單稱作刀片)131的機(jī)構(gòu)。刀片131通過未圖示的銷旋轉(zhuǎn)自如地保持在下端中央的前端部上，銷由止動器132防止脫落。刀片131是一邊壓接在脆性材料基板上一邊滾動而形成劃線的部件。該刀片保持器130通過使其側(cè)面接觸在定位銷123上，被定位在保持器接頭120的保持器部122上。并且，刀片保持器130通過固定螺栓133固定在保持器部122上。劃線頭112可升降地保持著其下部的保持器接頭120及刀片保持器130。在劃線頭112中，在其內(nèi)部設(shè)有能夠進(jìn)行這樣的升降的升降部、例如借助使用空氣壓力控制的氣缸或線性馬達(dá)的電動升降部等。該升降部使刀片131一邊以適當(dāng)?shù)妮d荷壓接在脆性材料基板的表面上一邊滾動，形成劃線。

多頭搭載劃線裝置100設(shè)有多個(gè)劃線頭。各劃線頭分別安裝有刀片保持器。多個(gè)刀片既有同時(shí)使用的情況也有部分使用的情況。此外，也有預(yù)先配合切斷對象而安裝不同種類的刀片、在使用時(shí)選擇其一部分而進(jìn)行劃線的情況。