[發明專利]一種超材料諧振子及其制備方法

有效

• 申請號: 201210132996.2
• 申請日: 2012-04-28
• 公開（公告）號: CN102674847A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 劉若鵬;徐冠雄;繆錫根
• 申請（專利權）人: 深圳光啟創新技術有限公司
• 主分類號: C04B35/622
• 分類號: C04B35/622;B32B18/00;C04B35/495;C04B35/468;C04B35/465;C03C8/24;H01P7/10
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1.一種超材料諧振子的制備方法，其特征在于，所述的制備方法包括以下步驟：

將燒結溫度低于950℃的陶瓷粉配制成陶瓷漿料，然后流延制成生瓷帶，在需要金屬微結構的生瓷帶上加工出多個金屬微結構，將不含金屬微結構的生瓷帶和含金屬微結構的生瓷帶疊壓成整體制成預燒LTCC陶瓷片；

將玻璃粉中各氧化物組分的氧化物前驅體混合均勻形成溶膠，將陶瓷輔助片浸入所述溶膠后取出或通過旋涂的方式在陶瓷輔助片上涂覆一層溶膠，然后靜置凝膠并干燥，制得預燒陶瓷輔助片；

將所述預燒LTCC陶瓷片與所述預燒陶瓷輔助片疊合后形成預燒整體；

將預燒整體固定后在10MPa以下的壓力下、850℃～950℃溫度范圍內保溫1～5小時進行燒結，獲得包含陶瓷輔助片、玻璃涂層和LTCC陶瓷片的超材料諧振子。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，制備所述預燒LTCC陶瓷片時，向所述陶瓷粉中加入0.5wt％～3wt％的助燒劑。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述陶瓷輔助片為由Qf為30000GHz～60000GHz、介電常數為40～70、燒結溫度為1100℃～1500℃的陶瓷粉制成的陶瓷輔助片。

4.根據權利要求1或3所述的制備方法，其特征在于，所述陶瓷輔助片的厚度為2～4mm。

5.根據權利要求1或3所述的制備方法，其特征在于，制備所述陶瓷輔助片的陶瓷粉為BaTi₄O₉體系、BaTi₉O₂₀體系或CaTiO₃-NdAlO₃體系。

6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述玻璃粉為P₂O₅-ZnO-Al₂O₃-SiO₂-MgO-CaO體系或Bi₂O₅-B₂O₃-ZnO-Al₂O₃-SiO₂體系。

7.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，制備所述LTCC陶瓷片的陶瓷粉為ZnNb₂O₆體系、BaTi₄O₉體系或BiNbO₄體系。

8.一種超材料諧振子，其特征在于，包括權利要求1～7任一項制備的超材料諧振子，所述超材料諧振子包括陶瓷輔助片、LTCC陶瓷片及粘接所述陶瓷輔助片和所述LTCC陶瓷片的玻璃涂層，所述玻璃涂層采用的是溶膠-凝膠法制備的玻璃涂層。