[發(fā)明專利]劃刻光伏器件期間隨時間改變激光強度的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210129991.4 | 申請日： | 2012-04-19 |
| 公開（公告）號： | CN102744520A | 公開（公告）日： | 2012-10-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | J·M·弗里 | 申請（專利權(quán)）人： | 初星太陽能公司 |
| 主分類號： | B23K26/36 | 分類號： | B23K26/36 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 張金金;朱海煜 |
| 地址： | 美國科*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 劃刻光伏 器件 期間 隨時 改變 激光 強度 方法 | ||
1.一種激光劃刻膜堆疊(13)的方法，所述膜堆疊包括襯底(12)上的多個薄膜層，所述方法包括：
施加激光束(30)的脈沖到所述膜堆疊(13)上，其中所述激光束(30)具有在完成預(yù)定功率周期的脈沖期間作為時間的函數(shù)而變化的功率，其中所述脈沖持續(xù)大約0.1納秒至大約500納秒；以及
跨所述膜堆疊(13)重復(fù)所述激光束(30)的脈沖以形成通過所述襯底(12)上的薄膜層中的至少一個的劃刻線(44)。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述功率周期限定不同于第二功率水平的第一功率水平，其中所述第一功率水平配置成劃刻所述襯底(12)上的第一薄膜層，并且其中所述第二功率水平配置成劃刻下面的第二薄膜層。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述功率周期限定不同于第二功率水平的第一功率水平，其中所述激光束(30)的功率對于是所述脈沖的大約10％至大約90％的第一持續(xù)時間保持在所述第一功率水平。
4.如權(quán)利要求3所述的方法，其中所述激光束的功率對于第二持續(xù)時間保持在所述第二功率水平，所述第二持續(xù)時間短于所述第一持續(xù)時間，并且其中所述第一功率水平小于所述第二功率水平。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，其中所述第二持續(xù)時間是所述脈沖的大約0.5％至小于所述脈沖的50％。
6.如權(quán)利要求3所述的方法，其中所述功率周期進(jìn)一步限定第三功率水平，其不同于所述第一功率水平和所述第二功率水平兩者，其中所述激光束(30)的功率對于是所述脈沖的大約0.001％至大約50％的第三持續(xù)時間保持在所述第三功率水平。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其中所述激光束(30)的功率對于所述脈沖持續(xù)時間的大約0.01％至大約25％保持在所述第三功率水平。
8.如權(quán)利要求6所述的方法，其中所述第一功率水平小于所述第三功率水平和第二功率水平兩者。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，其中在所述脈沖的功率周期中，所述第三功率水平在順序上是在所述第一功率水平之前，并且其中在所述脈沖的功率周期中，所述第一功率水平在順序上是在所述第二功率水平之前。
10.一種激光劃刻基于碲化鎘薄膜的光伏器件的方法，所述方法包括：
提供基于碲化鎘薄膜的光伏器件(10)，其中所述基于碲化鎘薄膜的光伏器件(10)包括玻璃頂板(12)和膜堆疊(13)，所述膜堆疊(13)包括所述玻璃頂板(12)之上的透明導(dǎo)電氧化物層(14)、所述透明導(dǎo)電氧化物層(14)之上的高阻透明緩沖層(16)、所述高阻透明緩沖層(16)之上的硫化鎘層(18)以及所述硫化鎘層(18)上的碲化鎘層(20)；
施加激光束(30)的脈沖到所述膜堆疊(13)上，其中所述激光束(30)具有在根據(jù)預(yù)定功率周期的脈沖期間作為時間的函數(shù)而變化的功率，其中所述脈沖持續(xù)大約0.1納秒至大約500納秒；以及
跨所述基于碲化鎘薄膜的光伏器件(10)重復(fù)所述激光束(30)的脈沖以在所述膜堆疊(13)中形成劃刻線。
11.如權(quán)利要求10所述的方法，其中所述功率周期限定不同于第二功率水平的第一功率水平，其中所述激光束(30)的功率對于是所述脈沖的大約10％至大約90％的第一持續(xù)時間保持在所述第一功率水平。
12.如權(quán)利要求11所述的方法，其中在所述脈沖的功率周期中，所述第一功率水平在順序上是在所述第二功率水平之前。
13.如權(quán)利要求11所述的方法，其中所述激光束(30)的功率對于第二持續(xù)時間保持在所述第二功率水平，所述第二持續(xù)時間短于所述第一持續(xù)時間，并且其中所述第一功率水平小于所述第二功率水平。
14.如權(quán)利要求11所述的方法，其中所述功率周期進(jìn)一步限定第三功率水平，其不同于所述第一功率水平和所述第二功率水平兩者，其中所述激光束的功率對于是所述脈沖的大約0.5％至大約50％的第三持續(xù)時間保持在所述第三功率水平。
15.如權(quán)利要求14所述的方法，其中在所述脈沖的功率周期中，所述第三功率水平在順序上是在所述第一功率水平之前，并且其中在所述脈沖的功率周期中，所述第一功率水平在順序上是在所述第二功率水平之前。
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