[發明專利]測試裝置及對應的測試方法

在審

• 申請號: 201210122338.5
• 申請日: 2012-04-24
• 公開（公告）號: CN102638263A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發明（設計）人: 索鑫
• 申請（專利權）人: 上海宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: H03M1/10
• 分類號: H03M1/10
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

技術領域

本發明涉及半導體測試領域，特別涉及一種利用存儲器測試裝置對A/D轉換器或D/A轉換器進行測試的測試裝置及對應的測試方法。

背景技術

隨著社會經濟的不斷發展，技術的不斷進步，作為消費電子類產品中重要的一部分——混合信號集成電路發展迅速，功能日趨強大，主要體現在速度不斷提升，精度不斷提高，10位、12位、16位、20位、24位的數模(D/A)轉換器和模數(A/D)轉換器層出不窮。技術的快速發展和市場競爭的加劇，電子產品市場壽命相對于開發周期變得越來越短，測試對電子產品的上市時間、開發周期的影響越來越大。因此，混合信號測試在整個混合信號IC產業鏈中意義重大。

在現有的大規模的半導體生產過程中，廣泛使用自動測試設備(ATE)對數模(D/A)轉換器和模數(A/D)轉換器的集成電路進行量產測試。所述自動測試設備是一套由計算機控制的適用于生產線的測試設備，包括一套高精度測量單元、數據采集系統、波形發生器、示波器、分析儀等電子設備，計算機通過測試程序控制所述電子設備對數模(D/A)轉換器和模數(A/D)轉換器的集成電路進行測試。

更多關于模數轉換器的測試系統及測試方法請參考申請公布號為CN101834605A的中國專利文獻。

發明內容

本發明解決的問題是提供一種測試裝置及對應的測試方法，可以利用存儲器測試裝置對A/D轉換器、D/A轉換器進行測試。

為解決上述問題，本發明實施例提供了一種測試裝置，包括：

信號輸入裝置、存儲器測試裝置、D/A轉換器、A/D轉換器、測試單元，所述存儲器測試裝置包括第一存儲器單元和第二存儲器單元，所述D/A轉換器、A/D轉換器其中一個為標準轉換器，另一個為待測試轉換器；

所述信號輸入裝置用于產生數字向量，并將所述數字向量存儲到存儲器測試裝置中的第一存儲器單元中；

所述存儲器測試裝置將所述第一存儲器單元中的數字向量通過D/A轉換器轉換為模擬信號，并將所述模擬信號發送給A/D轉換器；

所述A/D轉換器將所述模擬信號轉換成數字信號，并存儲在所述存儲器測試裝置的第二存儲器單元中；

所述測試單元對第二存儲器單元中的數字信號進行處理測試出待測試轉換器的性能參數，將所述待測試轉換器的性能參數與標準的測量參數進行比較，判斷待測試轉換器是否符合技術要求。

可選的，當所述D/A轉換器為標準轉換器，所述A/D轉換器為待測試轉換器，所述D/A轉換器的精度高于所述A/D轉換器的精度。

可選的，當所述A/D轉換器為標準轉換器，所述D/A轉換器為待測試轉換器，所述A/D轉換器的精度高于所述D/A轉換器的精度。

可選的，還包括：位于所述D/A轉換器、A/D轉換器之間的低通濾波器，將所述D/A轉換器轉換后的模擬信號進行濾波。

可選的，還包括：位于所述D/A轉換器、A/D轉換器之間的運算放大電路，提高D/A轉換器的增益。

可選的，所述信號輸入裝置為任意波形產生器，所述任意波形產生器包括信號圖形產生模塊和直接數字頻率合成模塊。

可選的，所述信號輸入裝置還包括信號格式轉換模塊，用于將直接數字頻率合成模塊產生的數字信號的格式轉換成存儲器測試裝置內部的數據格式。

可選的，所述存儲器測試裝置為卡羅斯存儲器測試裝置。

可選的，所述性能參數包括靜態性能參數和動態性能參數，當所述靜態性能參數和動態性能參數滿足技術要求，表明所述待測試轉換器符合技術要求；當所述靜態性能參數或動態性能參數不滿足技術要求，表明所述待測試轉換器不符合技術要求。

可選的，所述動態性能參數包括信號-噪聲比，信號-噪聲加失真，總諧波失真，以及無雜散動態范圍。

可選的，當待測試轉換器為12位，所述待測試轉換器的信號-噪聲比，信號-噪聲加失真比的標準的測量參數范圍為大于60dB，所述總諧波失真的標準的測量參數范圍為小于等于-70dB，所述無雜散動態范圍的標準的測量參數范圍為大于等于55dB。

可選的，所述靜態性能參數包括積分非線性誤差、微分非線性誤差、失調誤差、增益誤差。

可選的，當待檢測轉換器為12位，所述待測試轉換器的積分非線性誤差、微分非線性誤差的標準的測量參數范圍為小于等于1LSB，所述增益誤差、失調誤差的標準的測量參數范圍為小于等于2mV。

本發明技術方案還提供了一種采用所述測試裝置的測試方法，包括：