[發明專利]一種環形柵器件版圖上等效寬度測定方法

有效

• 申請號: 201210120976.3
• 申請日: 2012-04-23
• 公開（公告）號: CN102708230A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 肖立伊;張波;付方發;王天琦
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 牟永林

1.一種環形柵器件版圖上等效寬度測定方法，其特征在于包括以下步驟：

步驟一：在環形柵器件版圖形成的多邊形上測量一條邊的漏區側長度d和源區、漏區最小距離L；

步驟二：將步驟一中的多邊形的邊進行劃分并計算劃分后每個部分的等效寬度，具體劃分及計算方法是：

步驟A：判斷d-2aL是否大于0，其中a＝0.05，當d-2aL＞0時，則執行步驟B，否則執行步驟C；

步驟B：當d-2aL＞0時，在所述多邊形的邊距離漏區側兩端為aL處做垂線，此垂線做為分割線，將所述的多邊形的邊分為邊緣晶體管T2及拐角晶體管T1兩部分，邊緣晶體管T2等效為條形器件進行計算，將位于所述多邊形的邊距離漏區側兩端的拐角晶體管T1等效為扇形器件進行計算，邊緣晶體管T2的等效寬度與拐角晶體管T1的等效寬度之和即為所述的多邊形的邊的等效寬度；

邊緣晶體管T2等效寬度W_T2計算公式為：

W_T2＝d-2aL

拐角晶體管T1等效寬度W_T1計算公式為：

WT1=2πRXn]]>

其中n為所述多邊形的邊數，R_X為電勢差為50％V_DS處等勢線半徑，V_DS為漏源電壓，R₁為等效為扇形器件的內部半徑，R₂為等效為扇形器件的外部半徑，R1=αLtan(π/n),]]>R₂＝R₁+L；

步驟C：當d-2aL≤0時，在所述多邊形的邊距離漏區側兩端為d/2處做垂線，此垂線做為分割線，此時所述多邊形的邊分割成相同的兩部分構成的拐角晶體管T1′，拐角晶體管T1′等效為扇形器件進行計算；

拐角晶體管T1′等效寬度W_T1′計算公式為：

WT1′=2πRX′n]]>

其中R_X′為電勢差為50％V_DS處等勢線半徑，V_DS為漏源電壓，R₁′為等效為扇形器件的內部半徑，R₂′為等效為扇形器件的外部半徑，R₂′＝R₁′+L；

步驟三：對環形柵器件版圖形成的多邊形上的其它各邊分別執行步驟一及步驟二，獲得每條邊的等效寬度，將多邊形的所有邊的等效寬度相加，獲得環形柵器件版圖上等效寬度。

2.如權利要求1所述的環形柵器件版圖上等效寬度測定方法，其特征在于所述的環形柵器件為截角正方形器件，所述多邊形的每條邊的漏區側長度d相等，每條邊的L也相等，步驟A中d-2aL＞0，步驟B中n取值為4。

3.如權利要求1所述的環形柵器件版圖上等效寬度測定方法，其特征在于所述的環形柵器件為圓形器件，此時所述多邊形的每條邊的漏區側長度d＝0，步驟A中d-2aL＜0，步驟C中n＝1，等效寬度W_E的值為公式：

WE=2π(R11+L)R11]]>

其中R₁₁為圓形器件的內部半徑。