[發明專利]一種基于硅微加工技術的光纖加速度計

無效

• 申請號: 201210118959.6
• 申請日: 2012-04-20
• 公開（公告）號: CN102621348A
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發明（設計）人: 索智群;喬東海
• 申請（專利權）人: 中國科學院聲學研究所
• 主分類號: G01P15/03
• 分類號: G01P15/03
• 代理公司: 北京億騰知識產權代理事務所 11309
• 代理人: 陳霽

1.一種基于硅微加工技術的光纖加速度計，其特征在于，包括：

加速度-位移敏感結構，具有加速度傳感頭；所述加速度傳感頭包括上表面具有反射鏡的檢測質量塊；

干涉腔支架，在所述加速度-位移敏感結構上方；

干涉腔支架內的自聚焦透鏡，所述自聚焦透鏡和所述反射鏡構成斐索干涉腔；

干涉腔支架內的調節裝置，用于調節所述自聚焦透鏡的位移。

2.如權利要求1所述的一種基于硅微加工技術的光纖加速度計，其特征在于，所述加速度計還包括耦合光纖和尾纖，所述耦合光纖與所述尾纖相連接；所述尾纖在所述干涉腔支架上方，與所述自聚焦透鏡相連接；所述耦合光纖在外殼外側。

3.如權利要求1所述的一種基于硅微加工技術的光纖加速度計，其特征在于，所述加速度-位移敏感結構通過上方和下方橡膠圓環與下方的夾具固定在外殼內。

4.如權利要求1所述的一種基于硅微加工技術的光纖加速度計，其特征在于，所述加速度-位移敏感結構還包括具有聲學阻尼孔和/或透光孔的背極板。

5.如權利要求1所述的一種基于硅微加工技術的光纖加速度計，其特征在于，所述加速度傳感頭還包括彈性部件和/或支撐部件。

6.如權利要求1所述的一種基于硅微加工技術的光纖加速度計，其特征在于，所述加速度傳感頭采用微機電系統(MEMS)技術加工。

7.如權利要求1所述的一種基于硅微加工技術的光纖加速度計，其特征在于，所述夾具為尼龍或金屬材料。

8.如權利要求1所述的一種基于硅微加工技術的光纖加速度計，其特征在于，所述調節裝置，具體為，

干涉腔支架上有通孔，并通過所述通孔在x方向與y方向上插入頂絲，用于固定所述自聚焦透鏡，并通過所述頂絲對所述自聚焦透鏡進行x方向和y方向位移的調節；

干涉腔支架內有滑軌，用于調節所述自聚焦透鏡伸入z方向的深度。

9.如權利要求8所述的一種基于硅微加工技術的光纖加速度計，其特征在于，所述頂絲在同一方向上有一個或多個，x方向上的頂絲與y方向上的頂絲不在同一水平面上。

10.如權利要求1所述的一種基于硅微加工技術的光纖加速度計，其特征在于，所述反射鏡由鍍金屬膜方式形成。