[發明專利]一種具有工位切換功能的掩模臺

有效

• 申請號: 201210118780.0
• 申請日: 2012-04-20
• 公開（公告）號: CN103376664A
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發明（設計）人: 江旭初;周清華;王鑫鑫;徐濤
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種具有工位切換功能的掩模臺，其特征在于，包括：承版臺、氣浮板、工位切換機構、氣浮結構、水平向微調機構和垂向調節機構，所述承版臺通過氣浮結構固定于氣浮板上方，用于承載具有一個或多個圖形的掩模版，所述工位切換機構包括切換機構驅動裝置、導軌以及柔性解耦機構，所述導軌上具有可沿導軌滑動的滑塊，所述滑塊通過柔性解耦機構與所述承版臺固定連接，所述切換機構驅動裝置驅動所述滑塊沿導軌滑動，帶動所述承版臺移動以切換掩模版上的圖形工位；所述水平向微調機構用于驅動氣浮板在水平方向移動以實現掩模版水平方向的調節；所述垂向調節機構用于調節掩模版的垂向高度。

2.如權利要求1所述的掩模臺，其特征在于，所述柔性解耦機構包括導軌固定端、承版臺固定端以及連接所述導軌固定端和所述承版臺固定端的柔性簧片，所述柔性解耦機構的承版臺固定端、導軌固定端分別與承版臺和導軌固定連接。

3.如權利要求2所述的掩模臺，其特征在于，所述柔性簧片的材料為彈簧鋼。

4.如權利要求2或3所述的掩模臺，其特征在于，所述柔性簧片的厚度為0.1mm～0.3mm。

5.如權利要求1所述的掩模臺，其特征在于，所述氣浮結構包括正壓氣浮單元和真空吸附單元。

6.如權利要求5所述的掩模臺，其特征在于，所述正壓氣浮單元包括正壓區域和正壓控制閥，所述真空吸附單元包括真空區域和真空控制閥，所述正壓控制閥用于在將圖形切換到工位的過程中打開正壓區域的正壓氣體為承版臺提供氣浮支撐，所述真空控制閥用于在將圖形切換到工位后打開真空區域的真空為承版臺提供真空固定。

7.如權利要求6所述的掩模臺，其特征在于，所述真空區域和正壓區域分別對稱設置于承版臺的兩側。

8.如權利要求6或7所述的掩模臺，其特征在于，所述真空區域和正壓區域呈相鄰設置。

9.如權利要求6或7所述的掩模臺，其特征在于，所述真空區域和正壓區域是一體的，所述真空區域包含在正壓區域內。

10.如權利要求1所述的掩模臺，其特征在于，所述承版臺和所述氣浮結構是一體成形的。