[發(fā)明專利]用于熱調節(jié)光刻設備的部份的熱調節(jié)系統和熱調節(jié)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210116902.2
• 申請日: 2012-04-19
• 公開（公告）號: CN102749809A
• 公開（公告）日: 2012-10-24
• 發(fā)明（設計）人: S·N·L·多恩德爾斯;V·Y·班尼恩;J·H·J·莫爾斯;M·C·M·維哈根;O·W·V·費里基恩斯;G·范冬克;H·J·范格爾納
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;F25B29/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 吳敬蓮

1.一種兩相熱調節(jié)系統，用于熱調節(jié)光刻設備的部份，所述熱調節(jié)系統包括：

蒸發(fā)器，所述蒸發(fā)器定位成與光刻設備的所述部份熱接觸，以通過蒸發(fā)器內的流體的蒸發(fā)來從所述部份提取熱量；

冷凝器，所述冷凝器定位成與光刻設備的所述部份相距一距離，用于通過冷凝器內的流體的冷凝來從冷凝器內的流體去除熱量；

流體管路，所述流體管路布置在所述蒸發(fā)器和所述冷凝器之間，用于形成流體能夠在其中流動的回路；

泵，所述泵布置在所述回路中，以使流體在所述回路中循環(huán)；

儲存器，所述儲存器配置成保持流體，其中所述儲存器與所述回路流體連通并且包括熱交換器，所述熱交換器從儲存器內的流體傳遞熱量或將熱量傳遞至儲存器內的流體；

溫度傳感器，所述溫度傳感器配置成提供表示流體的溫度的測量信號；以及

控制器，配置成基于所述測量信號、通過調整所述熱交換器傳遞至儲存器內的流體的熱量或者從儲存器內的流體傳遞的熱量，而將回路內的流體的溫度保持為基本恒定。

2.根據權利要求1所述的熱調節(jié)系統，其中，熱調節(jié)是加熱和/或冷卻。

3.根據權利要求1或2所述的熱調節(jié)系統，其中，所述儲存器與所述回路的其中所有流體處于液相的部分流體連通。

4.根據權利要求1、2或3所述的熱調節(jié)系統，其中，所述溫度傳感器布置在所述蒸發(fā)器的下游，用于提供表示離開所述蒸發(fā)器的流體的溫度的測量信號。

5.根據權利要求1或2所述的熱調節(jié)系統，包括加熱器，用于將離開蒸發(fā)器的流體加熱至流體沸點以上預定量的度數，其中所述控制器配置用于確定達到該流體溫度所需的能量，并且其中所述控制器配置用于依賴于達到該溫度所需的能量而調整所述泵。

6.根據權利要求1或2所述的熱調節(jié)系統，其中，所述光刻設備的所述部份是被光刻設備的另一控制器主動控制的致動器，并且其中所述熱調節(jié)系統的所述控制器被配置用于接收來自所述光刻設備的所述另一控制器的信息，以估計所述致動器內產生的熱量，并且被配置依賴于所估計的熱量來調整所述泵。

7.根據權利要求1或2所述的熱調節(jié)系統，其中，所述儲存器的熱交換器被配置用于與回路中離開所述冷凝器上游處的蒸發(fā)器的流體交換熱量。

8.根據權利要求1或2所述的熱調節(jié)系統，其中，所述熱調節(jié)系統被配置用于將回路中的流體保持處于-250至100攝氏度之間的溫度、并且壓力在1巴以上，使得流體的飽和溫度大致等于回路內的流體的實際溫度。

9.一種光刻設備，包括：

照射系統，配置成調節(jié)輻射束；

支撐件，構造成支撐圖案形成裝置，所述圖案形成裝置能夠在輻射束的橫截面中將圖案賦予輻射束，以形成圖案化的輻射束；

襯底臺，構造成保持襯底；

投影系統，配置成用于將圖案化的輻射束投影到襯底的目標部分上；以及

根據權利要求1或2所述的熱調節(jié)系統，用于熱調節(jié)光刻設備的部份。

10.根據權利要求9所述的光刻設備，包括用于定位襯底臺的定位系統，所述定位系統包括至少一個致動器，其中所述熱調節(jié)系統被配置用于熱調節(jié)所述至少一個致動器。

11.一種兩相熱調節(jié)系統，用于熱調節(jié)光刻設備的部份，所述熱調節(jié)系統包括：

蒸發(fā)器，所述蒸發(fā)器定位成與光刻設備的所述部份熱接觸，以通過蒸發(fā)器內的流體的蒸發(fā)來從所述部份提取熱量；

冷凝器，所述冷凝器定位成與光刻設備的所述部份相距一距離，用于通過冷凝器內的流體的冷凝來從冷凝器內的流體去除熱量；

流體管路，所述流體管路布置在所述蒸發(fā)器和所述冷凝器之間，用于形成流體能夠在其中流動的回路；

泵，所述泵布置在所述回路中，以使流體在所述回路中循環(huán)；

旁路流體管路，所述旁路流體管路起始于回路中所述冷凝器與所述泵之間的一部位處，終止于回路中所述蒸發(fā)器與所述冷凝器之間的一部位處，優(yōu)選盡可能得靠近蒸發(fā)器的出口；以及

第二泵，所述第二泵布置于所述旁路流體管路中。

12.根據權利要求11所述的熱調節(jié)系統，其中，熱調節(jié)是加熱和/或冷卻。