[發(fā)明專利]三氯氫硅精餾系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210114103.1
• 申請(qǐng)日: 2012-04-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102649019A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-08-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙雄;嚴(yán)大洲;毋克力;肖榮暉;湯傳斌;姜利霞;楊永亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)恩菲工程技術(shù)有限公司;洛陽(yáng)中硅高科技有限公司
• 主分類號(hào): B01D3/14
• 分類號(hào): B01D3/14;C01B33/107
• 代理公司: 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 宋合成

1.一種三氯氫硅精餾系統(tǒng)，其特征在于，包括：

第一精餾塔，所述第一精餾塔設(shè)有第一上出口、第一下出口、位于所述第一上出口和所述第一下出口之間的第一進(jìn)料口、第一回流口和第一回氣口；

冷凝器，所述冷凝器的進(jìn)口與所述第一上出口相連且所述冷凝器的出口與所述第一回流口相連；

第二精餾塔，所述第二精餾塔設(shè)有第二上出口、第二下出口、位于所述第二上出口和所述第二下出口之間的第二進(jìn)料口、第二回流口和第二回氣口，所述第一精餾塔的水平高度高于所述第二精餾塔的水平高度；

第一再沸器，所述第一再沸器的第一進(jìn)口與所述第一下出口相連且所述第一再沸器的第一出口與所述第一回氣口相連，所述第一再沸器的第二進(jìn)口與所述第二上出口相連且所述第一再沸器的第二出口與所述第二回流口相連；

過(guò)冷器，所述過(guò)冷器的進(jìn)口與所述第一再沸器的第二出口相連且所述過(guò)冷器的出口與所述第二回流口相連；和

第二再沸器，所述第二再沸器的進(jìn)口與所述第二下出口相連且所述第二再沸器的出口與所述第二回氣口相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三氯氫硅精餾系統(tǒng)，其特征在于，所述冷凝器的出口還與所述過(guò)冷器出口相連，所述第一精餾塔的第一下出口還與所述第二精餾塔的第二下出口相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的三氯氫硅精餾系統(tǒng)，其特征在于，所述第一上出口設(shè)在所述第一精餾塔的頂部，所述第一下出口設(shè)在所述第一精餾塔的底部，所述第一進(jìn)料口設(shè)在所述第一精餾塔的中部；及

所述第二上出口設(shè)在所述第二精餾塔的頂部，所述第二下出口設(shè)在所述第二精餾塔的底部，所述第二進(jìn)料口設(shè)在所述第二精餾塔的中部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的三氯氫硅精餾系統(tǒng)，其特征在于，所述第一和第二精餾塔的尺寸和形狀完全相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的三氯氫硅精餾系統(tǒng)，其特征在于，所述第一和第二精餾塔的縱向剖面均為長(zhǎng)圓形且所述第一和第二精餾塔的縱軸線沿豎直方向定向。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的三氯氫硅精餾系統(tǒng)，其特征在于，所述第一和第二精餾塔的直徑相同。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的三氯氫硅精餾系統(tǒng)，其特征在于，所述第一精餾塔的水平高度高于所述第二精餾塔的水平高度1-2米。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的三氯氫硅精餾系統(tǒng)，其特征在于，所述第一精餾塔內(nèi)的操作壓力為0.1-0.3MPa，所述第二精餾塔內(nèi)的操作壓力為0.3-0.7MPa。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的三氯氫硅精餾系統(tǒng)，其特征在于，所述第一精餾塔內(nèi)的理論塔板數(shù)為80-100塊且所述第二精餾塔內(nèi)的理論塔板數(shù)為100-120塊。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的三氯氫硅精餾系統(tǒng)，其特征在于，所述第一和第二精餾塔的回流比均為8-15。