[發明專利]形狀測量設備無效
| 申請號： | 201210113006.0 | 申請日： | 2012-04-17 |
| 公開（公告）號： | CN102749040A | 公開（公告）日： | 2012-10-24 |
| 發明（設計）人： | 根本賢太郎;山縣正意 | 申請（專利權）人： | 株式會社三豐 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人： | 邸萬奎 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 形狀 測量 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種形狀測量設備，其通過探測器以非接觸方式掃描工件的表面并測量所述工件的表面形狀，所述探測器包括：光照射單元，其將線狀光照射到所述工件上；以及成像單元，其使從所述光照射單元照射的光的反射光成像，所述反射光由所述工件反射，其中所述成像單元包括：
成像元件，其使所述工件的像成像；
成像透鏡，其在所述成像元件的成像平面上形成由所述工件反射的反射光的像；以及
透鏡更換單元，其使得所述成像透鏡可更換。
2.如權利要求1所述的形狀測量設備，
其中，所述透鏡更換單元包括裝配單元，其可拆卸地支撐所述成像透鏡。
3.如權利要求1所述的形狀測量設備，
其中，所述透鏡更換單元包括環形透鏡單元，其能夠圍繞所述環形透鏡單元的作為軸的中心部分旋轉并具有多種類型的成像透鏡，其中布置所述成像透鏡以使得所述成像透鏡的透鏡中心位于與所述中心部分離開相等距離的位置處。
4.如權利要求1所述的形狀測量設備，
其中，所述透鏡更換單元包括線狀透鏡單元，其能夠相對于所述成像元件滑動并具有線狀布置的多種類型的成像透鏡。
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