[發明專利]磁盤用玻璃基板的制造方法

有效

• 申請號: 201210089282.8
• 申請日: 2012-03-30
• 公開（公告）號: CN102729141A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 石井智;深田順平
• 申請（專利權）人: HOYA株式會社
• 主分類號: B24B37/08
• 分類號: B24B37/08;B24B37/26;B24B37/24;C09K3/14
• 代理公司: 北京天悅專利代理事務所(普通合伙) 11311
• 代理人: 吳京順;任曉航

1.一種磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，

包括相對于玻璃基板主表面供給包含游離磨粒的研磨液的同時使研磨墊滑動接觸來進行研磨的工序，

在所述研磨墊表面上設置有相對于玻璃基板主表面滑動接觸的滑動接觸部和滑動接觸部之間形成的槽，

每一平方米的研磨墊表面上形成的滑動接觸部邊緣長度的合計值為200m以上，且作為相對于整個研磨墊表面區域的滑動接觸部區域的面積比率的填充率為80％以上。

2.根據權利要求1所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述研磨墊的滑動接觸部是在研磨墊表面上由相同形狀的多個三角形區域組成。

3.根據權利要求1或2所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述研磨墊的滑動接觸部是由發泡性聚氨酯樹脂形成。

4.根據權利要求3所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述發泡性聚氨酯樹脂的發泡孔口徑為30～200μm。

5.根據權利要求1至4任意一項所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述研磨工序利用具有安裝所述研磨墊的上平臺和下平臺的行星齒輪結構，使玻璃基板夾在上平臺和下平臺之間，通過操作使上平臺或下平臺中的任意一個平臺移動，或者使兩個平臺移動，由此對玻璃基板主表面進行研磨。

6.根據權利要求1至5任意一項所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述游離磨粒為氧化鋯磨粒。

7.根據權利要求1至6任意一項所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述磁盤用玻璃基板用于使用DFH磁頭記錄的磁盤的制造上。

8.一種磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，該方法包括相對于玻璃基板主表面供給包含游離磨粒的研磨液的同時使研磨墊滑動接觸來進行研磨的工序，

在所述研磨墊表面上設置有與玻璃基板主表面滑動接觸的滑動接觸部和滑動接觸部之間形成的槽，

所述滑動接觸部在所述研磨墊的表面中構成為多個三角形的區域。

9.一種磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，用具有滑動接觸部的研磨墊對玻璃基板進行研磨，在所述滑動接觸部中在相同形狀的四角形或六角形區域的各邊和其對角線上形成有槽，由此所述滑動接觸部由多個三角形區域形成。

10.根據權利要求2、8或9任一項所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述三角形區域為等腰直角三角形區域。

11.一種研磨墊，其特征在于，用于與磁盤用玻璃基板的玻璃基板主表面滑動接觸而對該主表面進行研磨，

在所述研磨墊表面上設置有相對于玻璃基板主表面滑動接觸的滑動接觸部和在滑動接觸部之間形成的槽，

在每一平方米的研磨墊表面上形成的滑動接觸部邊緣長度的合計值為200m以上，且作為相對于整個研磨墊表面區域的滑動接觸部區域的面積比率的填充率為80％以上。